一种石英管高真空密封结构
技术领域
本实用新型涉及一种石英管高真空密封结构。
背景技术
碳化硅单晶一般在石英坩埚中生长，现有的石英坩埚，一般是通过单个密封圈来对其端部进行密封的。当密封圈处发生泄露时，会直接连通石英坩埚内部和外界大气压，对石英坩埚中的真空工作环境造成极大的破坏。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种石英管高真空密封结构，能够实现石英管中的高真空环境，即便接近石英管端部的密封圈处发生泄漏，也能继续保证石英管中的高真空环境。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种石英管高真空密封结构，包括设于所述石英管端部的密封件、设于所述密封件和所述石英管之间的第一密封圈和第二密封圈、用于将所述密封件锁紧在所述石英管端部的锁紧机构、设于所述密封件中的位于所述第一密封圈和所述第二密封圈之间的环形间隙、开设于所述密封件上的与所述环形间隙连通的抽气口；
所述第一密封圈和所述第二密封圈具有水平排列状态和竖直排列状态；
所述第一密封圈和所述第二密封圈处于所述竖直排列状态时，所述密封结构还包括设于所述环形间隙中的环形隔垫、开设于所述环形隔垫上的且相互连通的第一气孔和第二气孔，所述第一气孔与所述抽气口连通，所述第二气孔用于连通所述第一密封圈和所述第二密封圈。
优选地，所述密封件呈圆盘形，所述第一密封圈和所述第二密封圈设于所述密封件和所述石英管的端部端面之间，所述第一密封圈和所述第二密封圈处于所述水平排列状态。
更优选地，所述锁紧机构包括环抵于所述石英管端部外侧周部的第一压紧环、用于将所述密封件锁紧在所述第一压紧环上的第一螺栓。
优选地，所述密封件呈杯形，所述第一密封圈和所述第二密封圈设于所述密封件的内侧周部和所述石英管的外侧周部之间，所述第一密封圈和所述第二密封圈处于所述竖直排列状态。
更优选地，所述锁紧机构包括环抵于所述石英管外侧周部的第二压紧环、用于将所述密封件锁紧在所述第二压紧环上的第二螺栓，所述第二压紧环包括用于伸入所述密封件的内侧周部和所述石英管的外侧周部之间的且用于抵触所述第一密封圈或所述第二密封圈的凸环。
优选地，所述第一密封圈、所述第二密封圈、所述石英管、所述环形隔垫均同轴延伸。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型一种石英管高真空密封结构，通过在密封件和石英管的端部之间设置两个密封圈，并通过抽气口将两个密封圈之间的环形间隙抽真空，任一密封圈处发生泄漏，均能够继续保证石英管中的高真空环境。
附图说明
附图1为本实用新型装置的结构示意图。
其中：1、石英管；2、密封件；3、第一密封圈；4、第二密封圈；5、环形间隙；6、抽气口；7、第一压紧环；8、第一螺栓；9、第二压紧环；91、凸环；10、第二螺栓；11、第一气孔；12、第二气孔；13、环形隔垫。
具体实施方式
下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
参见图1所示，上述一种石英管高真空密封结构，包括设于石英管1端部的密封件2、设于密封件2和石英管1之间的第一密封圈3和第二密封圈4、用于将密封件2锁紧在石英管1端部的锁紧机构、设于密封件2中的位于第一密封圈3和第二密封圈4之间的环形间隙5、开设于密封件2上的与环形间隙5连通的抽气口6。
在本实施例中，石英管1沿上下方向延伸。第一密封圈3和第二密封圈4具有水平排列状态和竖直排列状态：
第一密封圈3和第二密封圈4处于水平排列状态时，第一密封圈3位于第二密封圈4中，第一密封圈3、第二密封圈4、石英管1同轴延伸。第二密封圈4处发生泄漏时，由于第一密封圈3的存在，不会对石英管1中的高真空环境造成破坏；第一密封圈3处发生泄漏时，由于第一密封圈3和第二密封圈4之间的环形间隙5被抽真空，泄漏处与环形间隙5连通，并没有与外界大气压连通，因此也不会对石英管1中的高真空环境造成破坏。
第一密封圈3和第二密封圈4处于竖直排列状态时，密封结构还包括设于环形间隙5中的环形隔垫13、开设于环形隔垫13上的且相互连通的第一气孔11和第二气孔12，第一气孔11与抽气口6连通，第二气孔12用于连通第一密封圈3和第二密封圈4，第一气孔11沿水平方向延伸，第二气孔12沿竖直方向延伸，第二气孔12的上下两端均与环形间隙5连通。第一密封圈3靠近石英管1的下端，第二密封圈4则远离石英管1的下端。由于密封圈的材质较软，为了保证两个密封圈的均匀变形，在两者之间设置较硬的环形隔垫13，环形隔垫13的两端分别用于抵触两个密封圈，第一密封圈3、第二密封圈4、环形隔垫13、石英管1同轴延伸。同理，第二密封圈4处发生泄漏时，由于第一密封圈3的存在，不会对石英管1中的高真空环境造成破坏；第一密封圈3处发生泄漏时，由于第一密封圈3和第二密封圈4之间的环形间隙5被抽真空，泄漏处与环形间隙5连通，并没有与外界大气压连通，因此也不会对石英管1中的高真空环境造成破坏。
在本实施例中，石英管1上部管口处对应的密封件2呈圆盘形，第一密封圈3和第二密封圈4设于密封件2的下表面和石英管1的端部上端面之间，第一密封圈3和第二密封圈4处于水平排列状态。锁紧机构包括环抵于石英管1端部外侧周部的且位于密封件2下方的第一压紧环7、用于将密封件2锁紧在第一压紧环7上的第一螺栓8。第一压紧环7的外径与圆盘形的密封件2的外径相同，通过第一螺栓8沿竖直方向将两者相互锁紧；第一压紧环7的内径与石英管1上端部的外径相同。
在本实施例中，石英管1下部管口处对应的密封件2呈开口向上的杯形，第一密封圈3和第二密封圈4设于密封件2的内侧周部和石英管1的外侧周部之间，第一密封圈3和第二密封圈4处于竖直排列状态。锁紧机构包括环抵于石英管1外侧周部的且位于密封件2上方的第二压紧环9、用于将密封件2锁紧在第二压紧环9上的第二螺栓10。第二压紧环9的外径与杯形的密封件2的外径相同，通过第二螺栓10沿竖直方向将两者相互锁紧；第二压紧环9的内径与石英管1的外径相同。第二压紧环9包括用于伸入密封件2的内侧周部和石英管1的外侧周部之间的且用于抵触第二密封圈4的凸环91。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
