一种大尺寸感应线圈移动支撑装置
技术领域
本实用新型涉及一种大尺寸感应线圈移动支撑装置。
背景技术
碳化硅单晶生长时，一般是通过电阻加热或感应线圈加热，以在坩埚内部得到晶体生长所需的温度场。随着晶体生长的进行，需要对温度场进行调节，一般会向上或向下移动感应线圈，来调节坩埚内部的温度梯度。
现有的装置，一般是直接提拉感应线圈，使其上升或下降的。对于大尺寸的感应线圈，在提拉升降过程中，感应线圈运动不稳定，容易倾斜，导致对坩埚加热不均匀，影响坩埚内部的晶体生长质量。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会发生倾斜，保证了对坩埚加热的均匀性。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：
一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿所述线圈本体的长度延伸方向连接所述线圈本体的连接柱，所述装置包括连接在所述连接柱上端的上连接件、连接在所述连接柱下端的下连接件，所述线圈本体位于所述上连接件和所述下连接件之间；所述装置还包括两端分别连接在所述上连接件和所述下连接件上的C形支撑臂、平行于所述线圈本体长度延伸方向的导轨，所述C形支撑臂可来回滑动的设于所述导轨上。
优选地，所述装置还包括设于所述连接柱上端的用于连接所述上连接件的上连接座、设于所述连接柱下端的用于连接所述下连接件的下连接座。
优选地，所述上连接件和所述下连接件均为与所述线圈同轴延伸的环形连接件。
优选地，所述装置包括至少两个所述C形支撑臂、用于连接至少两个所述C形支撑臂的连接板、连接在所述连接板背离所述C形支撑臂一侧的且用于来回滑动的设于所述导轨上的滑块。
优选地，所述装置还包括设于所述C形支撑臂与所述上连接件之间的上绝缘机构、设于所述C形支撑臂与所述下连接件之间的下绝缘机构。
优选地，所述上绝缘机构包括设于所述C形支撑臂上端与所述上连接件之间的上绝缘垫、用于固定所述C形支撑臂上端与所述上连接件的上螺栓、套设于所述上螺栓上的上绝缘套；所述下绝缘机构包括设于所述C形支撑臂下端与所述下连接件之间的下绝缘垫、用于固定所述C形支撑臂下端与所述下连接件的下螺栓、套设于所述下螺栓上的下绝缘套。
由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，通过设置上连接件、下连接件和C形支撑臂，对连接柱上端和下端进行固定连接，在升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会在升降过程中倾斜，保证了感应线圈对坩埚加热的均匀性，也保证了坩埚内部晶体的生长质量。
附图说明
附图1为本实用新型装置的正视图；
附图2为本实用新型装置的俯视图。
其中：1、线圈本体；2、连接柱；3、上连接件；4、下连接件；5、C形支撑臂；6、导轨；7、上连接座；8、下连接座；9、连接板；10、滑块；11、上绝缘垫；12、上螺栓；13、上绝缘套；14、下绝缘垫；15、下螺栓；16、下绝缘套。
具体实施方式
下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。
参见图1-2所示，上述一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体1、沿线圈本体1的长度延伸方向连接线圈本体1的连接柱2。在本实施例中，线圈本体1的长度延伸方向为竖直方向，连接柱2有四条，沿圆周方向依次等间隔排列，四条连接柱2均沿竖直方向延伸。
上述一种大尺寸感应线圈移动支撑装置还包括连接在连接柱2上端的上连接件3、连接在连接柱2下端的下连接件4，线圈本体1位于上连接件3和下连接件4之间。该装置还包括两端分别连接在上连接件3和下连接件4上的C形支撑臂5。在本实施例中，C形支撑臂5的上臂沿水平方向延伸，且与上连接件3等高，C形支撑臂5的下臂沿水平方向延伸，且与下连接件4等高；C形支撑臂5的中臂沿竖直方向延伸，用于连接上臂和下臂。C形支撑臂5的开口朝向线圈本体1。
在本实施例中，上连接件3和下连接件4均为与线圈同轴延伸的环形连接件。通过这个设置，当线圈本体1套入坩埚上下移动时，上连接件3和下连接件4不会触碰到坩埚，对感应线圈的移动造成干涉。显然，上连接件3和下连接件4的内径均大于坩埚的直径。
上述一种大尺寸感应线圈移动支撑装置还包括平行于线圈本体1长度延伸方向的导轨6，C形支撑臂5可来回滑动的设于导轨6上。在本实施例中，该装置包括两个C形支撑臂5、用于连接两个C形支撑臂5的连接板9、连接在连接板9背离C形支撑臂5一侧的且用于来回滑动的设于导轨6上的滑块10。通过这个设置，进一步提高了感应线圈升降的稳定性，两个C形支撑臂5所在的面相互平行，两者之间间隔排列。
上述一种大尺寸感应线圈移动支撑装置还包括设于连接柱2上端的用于连接上连接件3的上连接座7、设于连接柱2下端的用于连接下连接件4的下连接座8。
上述一种大尺寸感应线圈移动支撑装置还包括设于C形支撑臂5与上连接件3之间的上绝缘机构、设于C形支撑臂5与下连接件4之间的下绝缘机构。在本实施例中，上绝缘机构包括设于C形支撑臂5上端与上连接件3之间的上绝缘垫11、用于固定C形支撑臂5上端与上连接件3的上螺栓12、套设于上螺栓12上的上绝缘套13；下绝缘机构包括设于C形支撑臂5下端与下连接件4之间的下绝缘垫14、用于固定C形支撑臂5下端与下连接件4的下螺栓15、套设于所螺栓上的下绝缘套16。
形支撑臂5的上臂端部贴设于上连接件3的下表面，两者之间设有上绝缘垫11，通过上螺栓12穿过并固定两者，在上螺栓12上套设上绝缘套13，以保证两者之间的绝缘连接；C形支撑臂5的下臂端部贴设于下连接件4的上表面，两者之间设有下绝缘垫14，通过下螺栓15穿过并固定两者，在下螺栓15上套设下绝缘套16，以保证两者之间的绝缘连接。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
