一种罩式退火炉的快速冷却罩
技术领域
本实用新型涉及冷却设备技术领域，具体为一种罩式退火炉的快速冷却罩。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%，特别涉及到冷却罩的冷却，在生产中起到了至关的作用。
存在以下问题：
1、现有的快速冷却罩在冷却的时候一般都是采用了喷水冷却，冷却的效果较低，时间较长。
2、现有的快速冷却罩，在喷水冷却的时候一般只能达到局部的冷却，冷却的范围较小。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种罩式退火炉的快速冷却罩，解决了冷却效率低的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种罩式退火炉的快速冷却罩，包括罩体，所述罩体的顶端固定连接有顶板，所述顶板的中部贯穿连接有进水管，所述顶板的内壁上固定连接有滤板，所述滤板的表面开设有通水孔，所述通水孔的下方设有转扇，所述罩体的内壁上固定连接有固定外壳，所述固定外壳的内部设有内置块，所述内置块的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧远离内置块的一侧固定连接有外接杆，所述外接杆远离内置块的一端固定连接有固定块，所述固定块的表面上开设有凹槽，所述固定块的凹槽内壁上转动连接有转轴，所述转轴的表面上固定连接有夹板，所述夹板的一侧设有通水管，所述罩体的一侧外壁上安装有罩门。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弹簧的一端与内置块表面固定连接，所述内置块的另一端与罩体的内壁固定连接。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外接杆的一端贯穿固定外壳的内壁，且外接杆的形状为圆柱长条状，所述外接杆的表面为光滑曲面。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述滤板和转扇的数量为若干组，且若干组滤板和转扇呈直线等距分布。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述固定外壳和内置块的数量为六组，且每两组固定外壳和内置块以罩体的水平中心线呈轴对称安装。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述通水管的材料为不锈钢材料制成，且通水管的表面为光滑曲面。
作为本实用新型的一种优选技术方案，所述弹簧的数量为若干组，且每三组弹簧呈直线等距分布。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种罩式退火炉的快速冷却罩，具备以下有益效果：
1、该快速冷却罩，通过设置夹板，当需要对退火炉进行冷却的时候，可以通过夹板将通水管夹紧，再通过弹簧的弹力作用下带动了内置块的移动，从而带动了外接杆向外侧移动，使得通水管与退火炉更加贴紧，通过通水管内部的冷水流动，对退火炉进行冷却，达到了高效冷却的效果。
2、该快速冷却罩，通过设置转扇，当进水管内通入冷水的时候，冷水通过滤板上的通水孔流下，打开转扇，通过转扇的转动将流下的水拍打出去，使得喷洒的范围更加广阔，从而达到了更加全面冷却的效果。
附图说明
图1为本实用新型外观图；
图2为本实用新型结构示意图；
图3为图2中A处的放大图。
图中：1、罩体；2、顶板；3、进水管；4、滤板；5、通水孔；6、转扇；7、固定外壳；8、内置块；9、弹簧；10、外接杆；11、固定块；12、转轴；13、夹板；14、通水管；15、罩门。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实施方案中：一种罩式退火炉的快速冷却罩，包括罩体1，罩体1的顶端固定连接有顶板2，顶板2的中部贯穿连接有进水管3，顶板2的内壁上固定连接有滤板4，滤板4的表面开设有通水孔5，通水孔5的下方设有转扇6，罩体1的内壁上固定连接有固定外壳7，固定外壳7的内部设有内置块8，内置块8的一侧固定连接有弹簧9，弹簧9远离内置块8的一侧固定连接有外接杆10，外接杆10远离内置块8的一端固定连接有固定块11，固定块11的表面上开设有凹槽，固定块11的凹槽内壁上转动连接有转轴12，转轴12的表面上固定连接有夹板13，夹板13的一侧设有通水管14，罩体1的一侧外壁上安装有罩门15。
本实施例中，弹簧9的一端与内置块8表面固定连接，内置块8的另一端与罩体1的内壁固定连接，增加了贴附效果，外接杆10的一端贯穿固定外壳7的内壁，且外接杆10的形状为圆柱长条状，外接杆10的表面为光滑曲面，滤板4和转扇6的数量为若干组，且若干组滤板4和转扇6呈直线等距分布，增加了洒水的范围，固定外壳7和内置块8的数量为六组，且每两组固定外壳7和内置块8以罩体1的水平中心线呈轴对称安装，增加了冷却的效果，通水管14的材料为不锈钢材料制成，防止长时间使用生锈，且通水管14的表面为光滑曲面，弹簧9的数量为若干组，且每三组弹簧9呈直线等距分布。
本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型中，首先当需要对退火炉进行冷却的时候，可以通过夹板13将通水管14夹紧，再通过弹簧9的弹力作用下带动了内置块8的移动，从而带动了外接杆10向外侧移动，使得通水管14与退火炉更加贴紧，通过通水管14内部的冷水流动，对退火炉进行冷却，达到了高效冷却的效果，然后往进水管3内通水，当进水管3内通入冷水的时候，冷水通过滤板4上的通水孔5流下，打开转扇6，通过转扇6的转动将流下的水拍打出去，使得喷洒的范围更加广阔，从而达到了更加全面冷却的效果，本实用新型操作简单，使用方便，效果明显。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
