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一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具

2021-01-31 19:50:01

一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具

  技术领域

  本实用新型涉及砷化镓生产技术领域,具体是一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具。

  背景技术

  砷化镓是一种重要的半导体材料。属Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体。属闪锌矿型晶格结构,晶格常数5.65×10-10m,熔点1237℃,禁带宽度1.4电子伏。砷化镓于1964年进入实用阶段。砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料,用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等。由于其电子迁移率比硅大5~6倍,故在制作微波器件和高速数字电路方面得到重要应用。用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。

  单晶炉是用直拉法生产砷化镓晶体的重要设备,在单晶直拉工艺中,晶棒拉制后需要重新取出保温筒,在对保温筒进行取出时,大部分都是由2-3位操作工戴着耐高温手套,一起将保温筒抬出单晶炉,当距离过近时容易碰到保温筒,造成烫伤的情况,在此需要使用一种夹紧装置,现有技术中的夹具都是用钩子勾住保温筒底部,虽然能做到避免工人被烫伤的情况,但钩子的弧度是固定的,适应差。因此,本领域技术人员提供了一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。

  发明内容

  本实用新型的目的在于提供一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,以解决上述背景技术中提出的问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

  一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板、夹紧装置、固定装置,所述圆板上端开设四个长方槽,且四个长方槽呈十字形在圆板上端排列,长方槽内设置有夹紧装置,夹紧装置包括方形柱、转轴、托块、螺纹杆一,方形柱位于长方槽内,且方形柱与长方槽滑动连接,方形柱内竖向设置转轴,且转轴上端穿过方形柱上端,转轴上端安装旋转块一,转轴下端安装伞齿轮一,方形柱靠近圆板中心位置的一端下部安装托块,托块内横向设置螺纹杆一,且螺纹杆一位于伞齿轮一下方,螺纹杆一靠近圆板中心位置的一端安装轴承座一,螺纹杆一另一端穿过托块和方形柱安装轴承座二,且轴承座二固定连接在方形柱内壁,轴承座一固定连接在托块内壁,螺纹杆一外表面套设伞齿轮二,且伞齿轮二位于方形柱内,伞齿轮二与伞齿轮一相啮合,托块上端开设有滑动槽,螺纹杆一外表面套设内螺纹块,且内螺纹块位于滑动槽内,内螺纹块上端安装夹紧杆。

  作为本实用新型进一步的方案:所述圆板中部设置固定装置,固定装置包括十字压紧杆、轴承座三、螺纹杆二、旋转块二,螺纹杆二上端穿过圆板,且螺纹杆二与圆板螺纹连接,螺纹杆二上端安装旋转块二,螺纹杆二转动连接有轴承座三,轴承座三下端设置十字压紧杆。

  作为本实用新型再进一步的方案:所述方形柱外表面安装固定块,且固定块位于圆板上方,固定块宽度大于长方槽宽度,且固定块与圆板滑动连接,固定块给夹紧装置提供支撑力,避免夹紧装置从长方槽内掉下。

  作为本实用新型再进一步的方案:所述圆板上端左右对称安装若干个起吊扣,且起吊扣的数量为四个。

  作为本实用新型再进一步的方案:所述圆板圆侧面外设有圆形杆,圆板圆侧面安装若干个连接杆,且连接杆固定连接圆形杆。

  作为本实用新型再进一步的方案:所述转轴外表面套设有固定轴承,且固定轴承位于伞齿轮一上方,通过固定轴承增加转轴转动时候的稳定性。

  与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

  1、本实用新型转动旋转块一通过转轴、伞齿轮一、伞齿轮二、螺纹杆一和内螺纹块传动,带动夹紧杆移动,夹住保温筒,可通过保温筒的壁厚来调节夹紧杆移动的距离,使本装置能适应多种厚度不同的保温筒,适应性强。

  2、本实用新型转动旋转块二通过螺纹杆二带动十字压紧杆下移压住保温筒顶部,从而减少保温筒晃动,提高保温筒的位置稳定性。

  3、本实用新型工人双手抓住圆形杆即可将保温筒提出,同时也可通过起重装置勾住起吊扣将保温筒吊出来,方便快捷,避免高温对人体造成伤害。

  附图说明

  图1为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具的结构示意图。

  图2为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具中夹紧装置的结构示意图。

  图3为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具的俯视图。

  图4为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具中固定装置的结构示意图。

  图中:1、圆板;11、长方槽;2、圆形杆;21、连接杆;3、固定块;4、夹紧装置;41、方形柱;42、转轴;43、旋转块一;44、固定轴承;45、伞齿轮一;5、托块;51、滑动槽;52、螺纹杆一;53、轴承座一;54、轴承座二;55、伞齿轮二;56、内螺纹块;57、夹紧杆;6、固定装置;61、十字压紧杆;62、轴承座三;63、螺纹杆二;64、旋转块二;7、起吊扣。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  请参阅图1~4,本实用新型实施例中,一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板1、夹紧装置4、固定装置6,所述圆板1上端开设四个长方槽11,且四个长方槽11呈十字形在圆板1上端排列,长方槽11内设置有夹紧装置4,夹紧装置4包括方形柱41、转轴42、托块5、螺纹杆一52,方形柱41位于长方槽11内,且方形柱41与长方槽11滑动连接,方形柱41内竖向设置转轴42,且转轴42上端穿过方形柱41上端,转轴42上端安装旋转块一43,转轴42下端安装伞齿轮一45,方形柱41靠近圆板1中心位置的一端下部安装托块5,托块5内横向设置螺纹杆一52,且螺纹杆一52位于伞齿轮一45下方,螺纹杆一52靠近圆板1中心位置的一端安装轴承座一54,螺纹杆一52另一端穿过托块5和方形柱41安装轴承座二53,且轴承座二53固定连接在方形柱41内壁,轴承座一54固定连接在托块5内壁,螺纹杆一52外表面套设伞齿轮二55,且伞齿轮二55位于方形柱41内,伞齿轮二55与伞齿轮一45相啮合,托块5上端开设有滑动槽51,螺纹杆一52外表面套设内螺纹块56,且内螺纹块56位于滑动槽51内,内螺纹块56上端安装夹紧杆57。

  所述圆板1中部设置固定装置6,固定装置6包括十字压紧杆61、轴承座三62、螺纹杆二63、旋转块二64,螺纹杆二63上端穿过圆板1,且螺纹杆二63与圆板1螺纹连接,螺纹杆二63上端安装旋转块二64,螺纹杆二63转动连接有轴承座三62,轴承座三62下端设置十字压紧杆61。

  所述方形柱41外表面安装固定块3,且固定块3位于圆板1上方,固定块3宽度大于长方槽11宽度,且固定块3与圆板1滑动连接,固定块3给夹紧装置4提供支撑力,避免夹紧装置4从长方槽11内掉下。

  所述圆板1上端左右对称安装若干个起吊扣7,且起吊扣7的数量为四个。

  所述圆板1圆侧面外设有圆形杆2,圆板1圆侧面安装若干个连接杆21,且连接杆21固定连接圆形杆2。

  所述转轴42外表面套设有固定轴承44,且固定轴承44位于伞齿轮一45上方,通过固定轴承44增加转轴42转动时候的稳定性。

  本实用新型的工作原理是:推动夹紧装置4向保温筒方向移动,方形柱41在长方槽11内滑动,将托块5放在保温筒下方,转动旋转块一43带动转轴42转动,转轴42带动伞齿轮一45转动,伞齿轮一45通过啮合传动带动伞齿轮二55转动,伞齿轮二55带动螺纹杆一52转动,螺纹杆一52带动内螺纹块56在滑动槽51内滑动,内螺纹块56带动夹紧杆57移动,夹住保温筒,然后转动旋转块二64带动螺纹杆二63转动,因为螺纹杆二63和圆板1螺纹连接,所以当螺纹杆二63转动时是向下移动的,当螺纹杆二63向下移动时带动十字压紧杆61下移压住保温筒顶部,工人双手抓住圆形杆2即可将保温筒提出,同时也可通过起重装置勾住起吊扣7将保温筒吊出来。

  以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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