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一种多晶炉异形硅锭出炉工装

2021-03-12 17:42:54

一种多晶炉异形硅锭出炉工装

  技术领域

  本实用新型属于多晶硅片技术领域,具体涉及一种多晶炉异形硅锭出炉工装。

  背景技术

  在硅料的加热熔化阶段,由于坩埚或者自身问题,可能会发生溢流,或其他原因需要紧急停止运行时,此时必须设备停止运行;硅液此时迅速冷凝,导致冷却完成后的硅锭属于不规则状,常见为硅锭底部呈现倒锥形。此状况硅锭受力点集中在中间无法取出硅锭,如取出会造成底板开裂致使硅锭及护板掉落容易出现质量及安全事故。如不取出,采取炉内破碎法浪费大量的人力、物力及降低设备利用率;而且在破碎作业时必须使用铁锤及人工破碎;作业过程会有残留铁削极大影响产品质量、破碎时人工使用敲击会引起硅片溅起对人身伤害。因此,有必要采用一种合适的工装,方便取出多晶炉内的异形硅锭。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种多晶炉异形硅锭出炉工装,便于根据需要使用,提升取出多晶炉内异形硅锭的效率。

  为了实现上述目的,本实用新型的技术方案如下。

  一种多晶炉异形硅锭出炉工装,包括固定连接块和平面铲板,平面铲板固定连接在固定连接块侧面,固定连接块与平面铲板之间设有多个加强支撑筋;固定连接块侧面设有U型安装槽体;安装槽体上表面设有多个固定螺栓孔。

  进一步地,加强支撑筋截面为三角形。

  进一步地,加强支撑筋固定贴合在固定连接块侧壁上。

  进一步地,固定螺栓孔设置有两个,分布在安装槽体上表面两侧位置。

  进一步地,加强支撑筋设置有两个,分别在固定连接块与平面铲板的连接处。

  该实用新型的有益效果在于:该实用新型装置能安全有效将异型硅锭取出,避免浪费大量的人力、物力及降低设备利用率,对拆卸过程造成不便或者护板破裂等安全事故。该实用新型装置能为溢流锭等不规则状硅锭提供合理有效的承重位置,设置有不同长度的工装件,能根据不同锭的需求做出相应的调整;使用螺栓的连接方式,便于拆卸或者更换。

  附图说明

  图1是本实用新型实施例中所使用装置立体结构示意图。

  图2是本实用新型实施例中所使用装置侧面结构示意图。

  图3是本实用新型实施例中所使用装置俯视结构示意图。

  图中标记说明:1、固定螺栓孔;2、加强支撑筋;3、固定连接块;4、平面铲板;5、安装槽体。

  具体实施方式

  下面结合附图对本实用新型的具体实施方式进行描述,以便更好的理解本实用新型。

  如图1、图2和图3所示的多晶炉异形硅锭出炉工装,包括固定连接块3和平面铲板4,平面铲板4固定连接在固定连接块3侧面,固定连接块3与平面铲板4之间设有多个加强支撑筋2;固定连接块3侧面设有U型安装槽体5;安装槽体5上表面设有多个固定螺栓孔1。加强支撑筋2截面为三角形。加强支撑筋2固定贴合在固定连接块3侧壁上。固定螺栓孔1设置有两个,分布在安装槽体5上表面两侧位置。加强支撑筋2设置有两个,分别在固定连接块3与平面铲板4的连接处。

  本实施例中的多晶炉异形硅锭出炉工装,用于多晶上卸锭专用叉车设备上,上卸锭叉车叉齿为左、右、后三面L型支撑组成;此工装连接板组成Y型,将此工装U型安装槽体5上表面的固定螺栓孔1用螺栓将工装与上卸锭叉车左、右、后三面L型固定面进行拧紧固定,Y型平面与异形硅锭接触分散受力点。利用平面铲板4针对多晶炉内异形硅锭进行出炉铲取,便于使用。

  以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

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