一种减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构
技术领域
本实用新型涉及直拉单晶设备技术领域，具体为一种减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构。
背景技术
在直拉单晶加工的过程中，我们一般会使用到单晶炉在惰性环境中将多晶硅等多晶材料熔化,再进行直拉单晶加工生长制备无错位单晶，单晶炉的提拉头机构和副室等基础基础构件组合成完整的单晶炉，同时也决定了单晶炉的规格。
而随着单晶产能提升单晶棒也随着加长，副室高度已经不能满足要求，不少单晶厂商通过增加副室高度，以便于增加投炉重量减少中间环节时间提升单产，以此降低单晶成本，但是在副室增加的同时重锤与旋转摆弧同时容易产生共振，同时不便于实时掌控液面和棒子摆弧，会对正常加工造成一定影响。
针对上述问题，在原有重锤机构的基础上进行创新设计。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构，以解决上述背景技术中提出在副室增加的同时重锤与旋转摆弧容易产生共振的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构，包括炉体、重锤本体和光感液面监测仪，所述炉体的内部开设有内腔，且内腔的侧壁固定安装有固定密封滑动轴承，所述重锤本体位于内腔的中部，且重锤本体的上端连接有钢线，所述钢线的侧面设置有连接滑轴，且钢线和连接滑轴之间通过组合式滚珠相互贴合连接，并且连接滑轴的侧端连接有环卡夹头，所述光感液面监测仪位于内腔的上端，且光感液面监测仪的上端连接有活动轴，并且光感液面监测仪的侧表面开设有连接活动槽，所述连接活动槽的内侧活动连接有连接活动座，且连接活动座的侧端连接有连接轴，并且连接轴的外侧连接有调节螺杆。
优选的，所述固定密封滑动轴承在内腔的左右两侧对称设置，且固定密封滑动轴承的滑动方向和内腔的中轴线相互平行。
优选的，所述连接滑轴的中轴线和内腔的中轴线相互垂直，且连接滑轴和钢线之间通过组合式滚珠构成贴合滑动结构。
优选的，所述连接滑轴在固定密封滑动轴承的内侧构成滑动结构，且连接滑轴和固定密封滑动轴承之间通过环卡夹头相互连接。
优选的，所述连接活动座和光感液面监测仪的侧壁之间通过连接活动槽构成滑动结构，且光感液面监测仪和内腔的顶端之间通过连接滑轴构成旋转结构。
优选的，所述调节螺杆的前端和连接活动座之间通过连接轴构成旋转结构，且调节螺杆和炉体之间构成螺纹连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构，
1、通过固定环将钢丝应力引出至外连接轴承上来减少钢线振弧，通过过在内腔内增加连接轴等结构将增长部分的副室钢线固定实现等长钢线拉晶，改善增高副室带来的钢线摆弧共振，避免在高长摆弧情况线钢线韧性及重力螺旋摆动过程中产生的振弧导致钢线微小弹动影响正常加工；
2、设置有方便微调的光感液面监测仪，方便监控晶棒摆弧、液面温度和晶棒直径，通过调节螺杆的螺纹支撑调整，可以便于对光感液面监测仪进行微角度调节，方便液面感应控制，配合进行轴承行程控制，液面控制可以与液面温度参考，有助于调温及等级温度功率增减做参考，进行更有效控制滑动轴承固定。
附图说明
图1为本实用新型正面剖视结构示意图；
图2为本实用新型俯剖结构示意图；
图3为本实用新型光感液面监测仪正面结构示意图；
图4为本实用新型光感液面监测仪俯剖结构示意图。
图中：1、炉体；2、内腔；3、固定密封滑动轴承；4、重锤本体；5、钢线；6、连接滑轴；7、组合式滚珠；8、环卡夹头；9、光感液面监测仪；10、活动轴；11、连接活动槽；12、连接活动座；13、连接轴；14、调节螺杆。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构，包括炉体1、内腔2、固定密封滑动轴承3、重锤本体4、钢线5、连接滑轴6、组合式滚珠7、环卡夹头8、光感液面监测仪9、活动轴10、连接活动槽11、连接活动座12、连接轴13和调节螺杆14，炉体1的内部开设有内腔2，且内腔2的侧壁固定安装有固定密封滑动轴承3，重锤本体4位于内腔2的中部，且重锤本体4的上端连接有钢线5，钢线5的侧面设置有连接滑轴6，且钢线5和连接滑轴6之间通过组合式滚珠7相互贴合连接，并且连接滑轴6的侧端连接有环卡夹头8，光感液面监测仪9位于内腔2的上端，且光感液面监测仪9的上端连接有活动轴10，并且光感液面监测仪9的侧表面开设有连接活动槽11，连接活动槽11的内侧活动连接有连接活动座12，且连接活动座12的侧端连接有连接轴13，并且连接轴13的外侧连接有调节螺杆14。
本例的固定密封滑动轴承3在内腔2的左右两侧对称设置，且固定密封滑动轴承3的滑动方向和内腔2的中轴线相互平行，方便通过固定密封滑动轴承3进行一定的限定活动引导
连接滑轴6的中轴线和内腔2的中轴线相互垂直，且连接滑轴6和钢线5之间通过组合式滚珠7构成贴合滑动结构，方便连接滑轴6的同步限位活动。
连接滑轴6在固定密封滑动轴承3的内侧构成滑动结构，且连接滑轴6和固定密封滑动轴承3之间通过环卡夹头8相互连接，便于连接滑轴6和固定密封滑动轴承3之间的活动连接。
连接活动座12和光感液面监测仪9的侧壁之间通过连接活动槽11构成滑动结构，且光感液面监测仪9和内腔2的顶端之间通过连接滑轴6构成旋转结构，方便光感液面监测仪9的活动调整安装。
调节螺杆14的前端和连接活动座12之间通过连接轴13构成旋转结构，且调节螺杆14和炉体1之间构成螺纹连接，便于通过调节螺杆14的螺纹传动进行螺纹微调。
工作原理：在使用该减少重锤与旋转摆弧共振的单晶副室防摆弧机构时，根据图1-2所示，重锤本体4可以配合炉体1进行正常的直拉单晶加工，当副室高度增加提高棒子长度时，重锤本体4可能与旋转摆弧同时产生共振，此时连接滑轴6可以在固定密封滑动轴承3处配合限定活动，将增长部分的钢线5固定，实现等长钢线5拉晶，改善增高副室带来的钢线5摆弧共振；
在装置的使用过程中，根据图1和图3-4所示，光感液面监测仪9还可以对内部液面和棒子摆弧进行实时检测，为改善摆弧监测角度，还可以通过转动调节螺杆14在炉体1处进行伸缩活动，结合图3-4所示，调节螺杆14顶动前端连接活动座12对光感液面监测仪9进行推挤倾斜，光感液面监测仪9可以绕活动轴10倾斜偏转，同时连接活动座12也可以在连接活动槽11中配合滑动，便于保持调节螺杆14的贴合活动支撑和限位调整，方便装置进行准确的行程观测控制，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
