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基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统

2021-04-07 11:28:31

基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统

  技术领域

  本发明是关于半导体智能制造技术领域,特别是关于一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统。

  背景技术

  无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。

  现有技术CN109470626A公开了一种无尘室微粒子污染微控制系统,包括控制板,所述控制板上分别设置有485芯片、无线网络收发器、分析仪和内存卡,所述分析仪上设置有指示灯、温湿传感器和空气泵。

  公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解,而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

  发明内容

  本发明的目的在于提供一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统,其能够克服现有技术的缺点。

  为实现上述目的,本发明提供了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法,包括如下步骤:由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息;由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息,并由移动终端与第一基站建立RRC连接;响应于与第一基站建立RRC连接,由移动终端监听由第一基站发送的同步信号,并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量;响应于确定第一链路质量,由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限,其中,第一链路质量门限是在系统信息中指示的;如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限,则由移动终端向第一基站发送测量报告;响应于接收到测量报告,由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息;响应于接收到切换请求消息,由第二基站判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站;响应于接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站;如果判断第二基站能够允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第一切换请求确认消息,其中,第一切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息;如果判断第三基站不允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第一切换请求否认消息;响应于接收到第一切换请求确认消息以及第一切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送第一切换配置消息,其中,第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第一RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息,其中,第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第一切换配置消息,由移动终端监测由第二基站发送的同步信号;响应于监测到由第二基站发送的同步信号,由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定移动终端与第二基站之间的通信链路的第二链路质量;响应于确定第二链路质量,由移动终端判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;响应于向第一基站发送第一切换请求确认消息,由第二基站持续判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站;如果判断第二基站不再允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第二切换请求否认消息;响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送切换配置暂停使用消息;响应于接收到切换配置暂停使用消息,由移动终端暂停判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站重新向第三基站发送切换请求消息;响应于再次接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站;如果判断第三基站能够允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第二切换请求确认消息,其中,第二切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息;响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第二切换执行条件与第二切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端继续判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第二RRC重配置消息ID,由移动终端使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第二切换执行条件ID,由移动终端使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件;响应于使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息以及使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件,由移动终端监测由第三基站发送的同步信号;响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量;响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第三链路质量门限,其中,第三链路质量门限是在第二切换执行条件中指示的;如果判断第三链路质量高于第三链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站;响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接;响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联;响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第一切换执行条件ID,由移动终端继续使用第一切换执行条件;由移动终端监测由第三基站发送的同步信号;响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量;响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第二链路质量门限,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;如果判断第三链路质量高于第二链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站;响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接;响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息。

  本发明还提供了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统,包括:用于由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息的单元;用于由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息,并由移动终端与第一基站建立RRC连接的单元;用于响应于与第一基站建立RRC连接,由移动终端监听由第一基站发送的同步信号,并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量的单元;用于响应于确定第一链路质量,由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限的单元,其中,第一链路质量门限是在系统信息中指示的;用于如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限,则由移动终端向第一基站发送测量报告的单元;用于响应于接收到测量报告,由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息的单元;用于响应于接收到切换请求消息,由第二基站判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站的单元;用于响应于接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站的单元;用于如果判断第二基站能够允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第一切换请求确认消息的单元,其中,第一切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息;用于如果判断第三基站不允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第一切换请求否认消息的单元;用于响应于接收到第一切换请求确认消息以及第一切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送第一切换配置消息的单元,其中,第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第一RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息,其中,第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第一切换配置消息,由移动终端监测由第二基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第二基站发送的同步信号,由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定移动终端与第二基站之间的通信链路的第二链路质量的单元;用于响应于确定第二链路质量,由移动终端判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限的单元,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;用于响应于向第一基站发送第一切换请求确认消息,由第二基站持续判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站的单元;用于如果判断第二基站不再允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第二切换请求否认消息的单元;用于响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送切换配置暂停使用消息的单元;用于响应于接收到切换配置暂停使用消息,由移动终端暂停判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限的单元。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站重新向第三基站发送切换请求消息的单元;用于响应于再次接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站的单元;用于如果判断第三基站能够允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第二切换请求确认消息的单元,其中,第二切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息;用于响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息的单元,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第二切换执行条件与第二切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端继续判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第二RRC重配置消息ID,由移动终端使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第二切换执行条件ID,由移动终端使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件的单元;用于响应于使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息以及使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件,由移动终端监测由第三基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量的单元;用于响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第三链路质量门限的单元,其中,第三链路质量门限是在第二切换执行条件中指示的;用于如果判断第三链路质量高于第三链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息的单元。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息的单元,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联;用于响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第一切换执行条件ID,由移动终端继续使用第一切换执行条件的单元;用于由移动终端监测由第三基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量的单元;用于响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第二链路质量门限的单元,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;用于如果判断第三链路质量高于第二链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息的单元。

  与现有技术相比,本发明具有如下优点,半导体生产的基础设施是无尘室(也成为超净间)。现代的半导体芯片的微观尺度早已达到10纳米以下,空气中灰尘颗粒的尺寸可能是半导体芯片的微观尺度的几个数量级以上,所以控制好无尘室的环境是制造高精密度半导体的首要条件。为了适应大规模生产的需要以及实现智能制造的长远目标,就需要提供一种能够同时对多个无尘室进行远程监测的方法和系统,自建局域网可以达到这个目的,但是局域网的建构需要复杂的专业知识,还需要聘请专业人员进行网络维护。如果能够直接使用运营商提供的服务,则能够极大的降低配置成本和监测成本,同时更能够保证数据的传输稳定性。针对现有技术的需要,本发明提出了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统。

  附图说明

  图1是根据本发明一实施方式的结构示意图。

  图2是根据本发明一实施方式的方法流程图。

  图3是根据本发明一实施方式的切换配置消息的示意图。

  图4是根据本发明另一实施方式的切换配置消息的示意图。

  图5是根据本发明另一实施方式的切换配置消息的示意图。

  具体实施方式

  下面结合附图,对本发明的具体实施方式进行详细描述,但应当理解本发明的保护范围并不受具体实施方式的限制。

  除非另有其它明确表示,否则在整个说明书和权利要求书中,术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分,而并未排除其它元件或其它组成部分。

  图1是根据本发明一实施方式的结构示意图。如图所示,本发明的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括移动终端、第一基站、第二基站、第三基站以及监控中心,虽然在图中只是示意性的展示了一台计算机,但是监测中心可以具备路由器和多台计算机,以便实现磁控溅射的远程监控。移动终端可以是能够监测灰尘浓度、气温、湿度等等参数且具有无线通信功能的电子设备。

  图2是根据本发明一实施方式的方法流程图。如图所示,本发明的基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:

  步骤101:由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息;

  步骤102:由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息,并由移动终端与第一基站建立RRC连接;

  步骤103:响应于与第一基站建立RRC连接,由移动终端监听由第一基站发送的同步信号,并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量;

  步骤104:响应于确定第一链路质量,由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限,其中,第一链路质量门限是在系统信息中指示的;

  步骤105:如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限,则由移动终端向第一基站发送测量报告;

  步骤106:响应于接收到测量报告,由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息;

  步骤107:响应于接收到切换请求消息,由第二基站判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站;

  步骤108:响应于接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站;

  步骤109:如果判断第二基站能够允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第一切换请求确认消息,其中,第一切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息;

  步骤110:如果判断第三基站不允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第一切换请求否认消息;

  步骤111:响应于接收到第一切换请求确认消息以及第一切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送第一切换配置消息,其中,第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第一RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息,其中,第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第一切换配置消息,由移动终端监测由第二基站发送的同步信号;响应于监测到由第二基站发送的同步信号,由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定移动终端与第二基站之间的通信链路的第二链路质量;响应于确定第二链路质量,由移动终端判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;响应于向第一基站发送第一切换请求确认消息,由第二基站持续判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站;如果判断第二基站不再允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第二切换请求否认消息;响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送切换配置暂停使用消息;响应于接收到切换配置暂停使用消息,由移动终端暂停判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站重新向第三基站发送切换请求消息;响应于再次接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站;如果判断第三基站能够允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第二切换请求确认消息,其中,第二切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息;响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第二切换执行条件与第二切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端继续判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第二RRC重配置消息ID,由移动终端使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第二切换执行条件ID,由移动终端使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件;响应于使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息以及使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件,由移动终端监测由第三基站发送的同步信号;响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量;响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第三链路质量门限,其中,第三链路质量门限是在第二切换执行条件中指示的;如果判断第三链路质量高于第三链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站;响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接;响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法包括如下步骤:响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联;响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID;如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID;响应于判断第二切换配置消息中包括第一切换执行条件ID,由移动终端继续使用第一切换执行条件;由移动终端监测由第三基站发送的同步信号;响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量;响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第二链路质量门限,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;如果判断第三链路质量高于第二链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站;响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接;响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息。

  本发明还提供了一种基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统,包括:用于由移动终端监测半导体生产用无尘室的环境信息的单元;用于由移动终端监听由第一基站发送的同步信号以及系统信息,并由移动终端与第一基站建立RRC连接的单元;用于响应于与第一基站建立RRC连接,由移动终端监听由第一基站发送的同步信号,并由移动终端基于第一基站发送的同步信号来确定移动终端与第一基站之间的通信链路的第一链路质量的单元;用于响应于确定第一链路质量,由移动终端判断第一链路质量是否低于第一链路质量门限的单元,其中,第一链路质量门限是在系统信息中指示的;用于如果判断第一链路质量低于第一链路质量门限,则由移动终端向第一基站发送测量报告的单元;用于响应于接收到测量报告,由第一基站向第二基站以及第三基站发送切换请求消息的单元;用于响应于接收到切换请求消息,由第二基站判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站的单元;用于响应于接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站的单元;用于如果判断第二基站能够允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第一切换请求确认消息的单元,其中,第一切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息;用于如果判断第三基站不允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第一切换请求否认消息的单元;用于响应于接收到第一切换请求确认消息以及第一切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送第一切换配置消息的单元,其中,第一切换配置消息中至少包括第一切换配置消息ID、第一RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第一RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第二基站所需要的配置信息,其中,第一RRC重配置消息与第一RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第一切换配置消息,由移动终端监测由第二基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第二基站发送的同步信号,由移动终端基于由第二基站发送的同步信号确定移动终端与第二基站之间的通信链路的第二链路质量的单元;用于响应于确定第二链路质量,由移动终端判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限的单元,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;用于响应于向第一基站发送第一切换请求确认消息,由第二基站持续判断第二基站是否能够允许移动终端随机接入第二基站的单元;用于如果判断第二基站不再允许移动终端随机接入第二基站,则由第二基站向第一基站发送第二切换请求否认消息的单元;用于响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站向移动终端发送切换配置暂停使用消息的单元;用于响应于接收到切换配置暂停使用消息,由移动终端暂停判断第二链路质量是否高于第二链路质量门限的单元。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换请求否认消息,由第一基站重新向第三基站发送切换请求消息的单元;用于响应于再次接收到切换请求消息,由第三基站判断第三基站是否能够允许移动终端随机接入第三基站的单元;用于如果判断第三基站能够允许移动终端随机接入第三基站,则由第三基站向第一基站发送第二切换请求确认消息的单元,其中,第二切换请求确认消息中包括用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息;用于响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息的单元,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第二切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第二切换执行条件与第二切换执行条件ID相关联。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端继续判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一RRC重配置消息ID的第二RRC重配置消息ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第二RRC重配置消息ID,由移动终端使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第二切换执行条件ID,由移动终端使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件的单元;用于响应于使用第二RRC重配置消息替换第一RRC重配置消息以及使用第二切换执行条件替换第一切换执行条件,由移动终端监测由第三基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量的单元;用于响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第三链路质量门限的单元,其中,第三链路质量门限是在第二切换执行条件中指示的;用于如果判断第三链路质量高于第三链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息的单元。

  在一优选的实施方式中,基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测系统包括:用于响应于接收到第二切换请求否认消息以及第二切换请求确认消息,由第一基站向移动终端发送第二切换配置消息的单元,其中,第二切换配置消息中至少包括第二切换配置消息ID、第二RRC重配置消息以及第一切换执行条件,其中,第二RRC重配置消息中指示用于移动终端随机接入第三基站所需要的配置信息,其中,第二RRC重配置消息与第二RRC重配置消息ID相关联,第一切换执行条件与第一切换执行条件ID相关联;用于响应于接收到第二切换配置消息,由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID的单元;用于如果判断第二切换配置消息中包括不同于第一切换配置消息ID的第二切换配置消息ID,则由移动终端判断第二切换配置消息中是否包括不同于第一切换执行条件ID的第二切换执行条件ID的单元;用于响应于判断第二切换配置消息中包括第一切换执行条件ID,由移动终端继续使用第一切换执行条件的单元;用于由移动终端监测由第三基站发送的同步信号的单元;用于响应于监测到由第三基站发送的同步信号,由移动终端基于由第三基站发送的同步信号确定移动终端与第三基站之间的通信链路的第三链路质量的单元;用于响应于确定第三链路质量,由移动终端判断第三链路质量是否高于第二链路质量门限的单元,其中,第二链路质量门限是在第一切换执行条件中指示的;用于如果判断第三链路质量高于第二链路质量门限,则由移动终端随机接入第三基站的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端断开与第一基站的RRC连接的单元;用于响应于随机接入第三基站,由移动终端向第三基站发送半导体生产用无尘室的环境信息的单元。

  本领域内的技术人员应明白,本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此,本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且,本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

  本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器,使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

  这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中,使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品,该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

  这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上,使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理,从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

  前述对本发明的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本发明限定为所公开的精确形式,并且很显然,根据上述教导,可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本发明的特定原理及其实际应用,从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本发明的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本发明的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。

《基于物联网的半导体生产用无尘室环境监测方法及系统.doc》
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