一种化学品供应装置
技术领域
本实用新型涉及半导体化学工艺技术领域，尤其涉及一种化学品供应装置。
背景技术
随着半导体行业的快速发展，工艺系统对化学品供应的要求越来越高。
目前，在工艺系统中，为保证化学品的供应，会在生产现场预先贮存化学品原料，并将其供给用料设备。然而，由于现场的原料贮存量有限，随着用料设备的使用，可能出现原料供应不足的情况，导致生产停滞。与原料供应问题类似，在生产过程中，用料设备产生的废液会积存在废液桶内，然而随着生产的进行，废液会越来越多，可能出现无法满足废液回收需求，需停工转移废液的情况，影响生产进程。
基于此，亟需一种化学品供应装置，用以解决如上提到的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种化学品供应装置，能够方便快捷地为用料设备提供化学品原料，且能够及时转走废液桶内的废液。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种化学品供应装置，包括：
原料桶；
泵，所述泵的进口和所述原料桶的出口连通，所述泵的出口和用料设备的进料口连通，以形成供液管路；
所述泵的进口和所述用料设备中的废液桶连通，所述泵的出口和外部废液贮存装置连通，以形成废液转移管路；
所述供液管路和所述废液转移管路上均设置有开关阀；移动箱体，所述原料桶和所述泵均设置在所述移动箱体内。
可选地，所述泵的进口和所述原料桶的出口之间设置有第一开关阀，所述泵的出口和所述用料设备的进料口之间设置有第二开关阀，所述泵的进口和所述废液桶之间设置有第三开关阀，所述泵的出口和所述外部废液贮存装置之间设置有第四开关阀。
可选地，所述开关阀为电动开关阀。
可选地，所述化学品供应装置还包括第一供气管路，所述第一供气管路的一端与外部的惰性气体供应设备连通，另一端与所述原料桶连通。
可选地，所述化学品供应装置还包括第二供气管路，所述第二供气管路的一端与外部的惰性气体供应设备连通，另一端设置在所述泵的出口与所述用料设备的进料口之间。
可选地，所述惰性气体供应设备供应的气体为氮气。
可选地，所述原料桶设置有多个。
可选地，所述化学品供应装置还包括电磁阀，所述电磁阀与所述泵电连接，用于控制所述泵的启动和关闭。
可选地，所述移动箱体的底部设置有积液排出管。
可选地，所述移动箱体的底部设置有多个滚轮。
本实用新型的有益效果：
本实用新型提供了一种化学品供应装置。通过在移动箱体内设置原料桶和泵，可方便快速地将化学品原料送至生产现场。通过设置泵的进口和出口分别和原料桶的出口、用料设备的进料口连通，可形成供液管路。又通过设置泵的进口和出口分别和用料设备中的废液桶、外部废液贮存装置连通，可形成废液转移管路。同时，在供液管路和废液转移管路上均设置有开关阀，可控制供液管路和废液转移管路的导通和闭合，实现两个管路之间的切换。当切换为供液管路时，通过泵能够将原料桶中的化学品原料快速供给用料设备使用；当切换为废液转移管路时，通过泵能够将废液桶内的废液快速转移至外部废液贮存装置中，保证生产持续进行。
附图说明
图1是本实用新型实施例提供的化学品供应装置的整体结构示意图；
图2是本实用新型实施例提供的化学品供应装置中移动箱体的立体外观示意图。
图中：
100、用料设备；101、废液桶；200、惰性气体供应设备；300、外部废液贮存装置；
1、原料桶；2、泵；3、移动箱体；31、积液排出管；32、滚轮；33、推手；4、供气总管路；41、第一供气管路；42、第二供气管路；5、第一开关阀；6、第二开关阀；7、第三开关阀；8、第四开关阀。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
本实施例提供了一种化学品供应装置。如图1所示，该装置包括原料桶1、泵2和移动箱体3。原料桶1和泵2均设置在移动箱体3内，可随移动箱体3快速地移动至生产现场。在泵2的进口和出口设置上，其进口和原料桶1的出口连通，其出口和用料设备100的进料口连通，以形成供液管路。泵2的进口也和用料设备100中的废液桶101连通，泵2的出口也和外部废液贮存装置300连通，以形成废液转移管路。同时，在供液管路和废液转移管路上均设置有开关阀，可控制两个管路的导通和闭合，以实现两个管路之间的切换。当供液管路导通，废液转移管路闭合时，通过泵2能够将原料桶1中的化学品原料快速供给用料设备100使用。当供液管路闭合，废液转移管路导通时，通过泵2能够将废液桶101中的废液快速转移至外部废液贮存装置300中，保证生产持续进行。可以看到，本实施例仅通过设置一个泵2使化学品供应装置同时具备了供液和废液转移功能，极大地节约了经济成本。
可选地，如图1所示，泵2的进口和原料桶1的出口之间设置有第一开关阀5，泵2的出口和用料设备100的进料口之间设置有第二开关阀6，泵2的进口和废液桶101之间设置有第三开关阀7，泵2的出口和外部废液贮存装置300之间设置有第四开关阀8。具体地，当打开第一开关阀5和第二开关阀6，关闭第三开关阀7和第四开关阀8时，即可利用供液管路为用料设备100供应化学品原料。反之，当打开第三开关阀7和第四开关阀8，关闭第一开关阀5和第二开关阀6时，即可利用废液转移管路将废液桶101中的废液转移到外部废液贮存装置300中。本实施例中，上述开关阀均为电动开关阀，以实现供液管路和废液转移管路切换的自动控制。
可选地，原料桶1的体积设置为10L或20L，以满足用料设备100的用料需求。进一步地，可设置多个原料桶1，以使该化学品供应装置能够为用料设备100提供更多化学品原料。此外，需说明的是，在废液转移的设置上，本实施例选择将废液转移到外部废液贮存装置300的主要原因是减少该化学品供应装置的体积，使其结构更加紧凑。当然，如不考虑供应装置的整体体积，在其它实施例中，也可在该化学品供应装置的内部设置废液贮存设备。
可选地，该化学品供应装置还包括电磁阀，电磁阀与泵2电连接，用于控制泵2的启动和关闭。进一步地，本实施例提供的化学品供应装置中设置有PLC控制系统，该PLC控制系统的输入端与用料设备100所在的工艺机台连接，输出端与电磁阀连接，以实现化学品原料供应的自动化控制。具体地，当收到工艺机台发出的需给用料设备100供料的信号时，该PLC控制系统会通过控制电磁阀启动泵2，为用料设备100供应化学品原料。当收到工艺机台发出的停止给用料设备100供料的信号时，该PLC控制系统又会通过控制电磁阀关闭泵2。关于PLC控制系统的具体组成及PLC控制系统和其它设备连接的实现方式，由于其属于现有技术，所以在此不再赘述。与现有技术中多依靠人工操作供应化学品原料的方式相比，该种自动供料方式除具有方便快捷的优点外，更是极大地减少了人为误操作的风险，更加安全。
可选地，如图1所示，该化学品供应装置还包括第一供气管路41，第一供气管路41的一端与外部的惰性气体供应设备200连通，另一端与原料桶1连通。本实施例中，为避免原料桶1中的原料挥发，对原料桶1进行了封闭设置。然而按此设置，在抽取原料桶1中的原料时，会导致原料桶1被大气压瘪。此情形下，当连通第一供气管路41时，就可通过惰性气体供应设备200向原料桶1中通入惰性气体，避免原料桶1压瘪现象的发生。
可选地，如图1所示，该化学品供应装置还包括第二供气管路42，第二供气管路42的一端与外部的惰性气体供应设备200连通，另一端设置在泵2的出口与用料设备100的进料口之间。在对用料设备100供应原料时，泵2的出口和用料设备100的进料口之间的供液管路中会留存一定数量的化学品原料。此情形下，当连通第二供气管路42时，就可通过惰性气体供应设备200向该段供液管路中通入惰性气体，从而能够将管路中的剩余原料吹入用料设备100中，避免浪费。可选地，惰性气体供应设备200供应的气体为氮气。具体地，惰性气体供应设备200可以为氮气储罐。
进一步地，考虑到常规的惰性气体供应设备200中一般仅设置有一个出气口用于供气，因此为便于连接惰性气体供应设备200和供气管路，如图1所示，本实施例中设置有供气总管路4，其进气口与惰性气体供应设备200的出气口对应设置，数量也为一个。第一供气管路41和第二供气管路42则被设置为供气总管路4的两条支路。
可选地，如图1所示，在移动箱体3的底部设置有积液排出管31。由于移动箱体3内设置的管路较多，所以在移动箱体3内可能出现管路漏液现象，导致移动箱体3的底部积存有液体。此种情况下，打开积液排出管31，就可十分方便地将移动箱体3内的积液排出。
图2为移动箱体3的立体外观示意图。可以看到，在移动箱体3的底部设置有多个滚轮32，以供移动箱体3移动。进一步地，在移动箱体3上还设置有推手33，用于推动移动箱体3移动。由于滚轮32和推手33的设置均属于现有技术，所以在此不再赘述。
综上，本实用新型通过在移动箱体3内设置原料桶1和泵2，可方便快速地将化学品原料送至生产现场，并供用料设备100使用。同时，通过设置泵2和用料设备100中的废液桶101连接，可以将废液桶101内的废液及时转移至外部废液贮存装置300中，保证生产持续进行。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
