一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种应用于半导体设备的液体管路侦测装置。
背景技术
现有技术中，在制造半导体晶体管或集成电路时，其晶圆在化学机械研磨设备研磨后，需要使用半导体设备对晶圆进行清洗和烘干，而半导体设备的液体管路容易存在下述问题：电磁阀长时间使用后会存在得到开启信号，但无法正常打开，导致后段管路没有液体流出的情况，其不仅影响生产效率、而且故障检测难度较大。
实用新型内容
本实用新型主要是解决现有技术中所存在的技术问题，从而提供一种生产效率高、故障检测快速准确的应用于半导体设备的液体管路侦测装置。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
本实用新型提供的应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：
管路本体，设置在半导体设备中，所述管路本体包括沿液体流向依次设置的第一管路本体和第二管路本体，所述第一管路本体和第二管路本体经电磁阀相连通或断开；
压力开关，设置在所述第二管路本体上，所述压力开关用于检测所述第二管路本体内的液体压力；
PLC控制单元，用于采集电磁阀的启停信号及压力开关的压力信号，当所述电磁阀具有开启信号，压力开关无压力信号时，所述PLC控制单元控制报警单元进行报警；
应急清洁管道，一端与所述第一管路本体相连通，所述应急清洁管道的另一端与三通阀的入口相连通，所述三通阀的第一出口与所述第二管路本体相连通，所述三通阀的第二出口与排污管相连通，其中，所述应急清洁管道上设有第一手动开关阀，所述排污管上设有第二手动开关阀。
进一步地，所述排污管上安装有螺纹连接套，所述螺纹连接套的下部设有喇叭状的开口，所述开口上安装有过滤网。
进一步地，所述开口上还设有可打开和关闭的密封盖，所述密封盖位于所述过滤网的外侧。
进一步地，所述报警单元包括蜂鸣器和报警灯，所述蜂鸣器和报警灯与所述PLC控制单元相连接。
本实用新型的有益效果在于：通过增加压力开关检测第二管路本体内的液体压力，当电磁阀具有开启信号，压力开关无压力信号时，PLC控制单元能控制报警单元进行报警，使故障能被快速准确地检测出来，并且，当故障发生后，可以打开第一手动开关阀，关闭第二手动开关阀，使第一管路本体内的液体能绕过电磁阀直接进入到第二管路本体中，从而避免了生产线的停线停产，同时，还可以关闭电磁阀和第一手动开关阀，打开第二手动开关阀，对第二管路本体进行反向冲洗，其能提高第二管路本体的清洁度和使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的应用于半导体设备的液体管路侦测装置的结构示意图；
图2是本实用新型的应用于半导体设备的液体管路侦测装置的密封盖和过滤网的安装位置示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参阅图1所示，本实用新型的应用于半导体设备的液体管路侦测装置，其包括：
管路本体1，设置在半导体设备2中，管路本体1包括沿液体流向依次设置的第一管路本体101和第二管路本体102，第一管路本体101和第二管路本体102经电磁阀3相连通或断开；
压力开关4，设置在第二管路本体102上，压力开关4用于检测第二管路本体102内的液体压力；本实施例中，压力开关4的型号优选为SMC的ISE80-02L-T。
PLC控制单元5，用于采集电磁阀3的启停信号及压力开关4的压力信号，当电磁阀3具有开启信号，压力开关4无压力信号时，PLC控制单元5控制报警单元6进行报警；本实施例中，PLC控制单元5的型号为三菱的：FX3GA-24MT-CM。
应急清洁管道7，一端与第一管路本体101相连通，应急清洁管道7的另一端与三通阀8的入口相连通，三通阀8的第一出口与第二管路本体102相连通，三通阀8的第二出口与排污管9相连通，其中，应急清洁管道7上设有第一手动开关阀10，排污管9上设有第二手动开关阀11。
本实用新型通过增加压力开关4检测第二管路本体102内的液体压力，当电磁阀3具有开启信号，压力开关4无压力信号时，PLC控制单元5能控制报警单元6进行报警，使故障能被快速准确地检测出来，并且，当故障发生后，可以打开第一手动开关阀10，关闭第二手动开关阀11，使第一管路本体101内的液体能绕过电磁阀3直接进入到第二管路本体102中，从而避免了生产线的停线停产，同时，还可以关闭电磁阀3和第一手动开关阀10，打开第二手动开关阀11，对第二管路本体102进行反向冲洗，其能提高第二管路本体102的清洁度和使用寿命。
参阅图2所示，为了能起到过滤作用，排污管9上安装有螺纹连接套12，螺纹连接套12的下部设有喇叭状的开口13，开口13上安装有过滤网14。
较佳地，当不使用排污管9时，为了避免排污管9漏液污染环境，开口13上还设有可打开和关闭的密封盖15，密封盖15位于过滤网14的外侧。
优选地，报警单元6包括蜂鸣器61和报警灯62，蜂鸣器61和报警灯62与PLC控制单元5相连接。蜂鸣器61和报警灯62可以分别进行声音和灯光报警。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
