一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置
技术领域
本发明涉及电子级混合气生产领域,尤其涉及一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置。
背景技术
在制造液态MO源时,需要对液态MO源进行定量转移,而目前对于液态MO源进行定量转移,一般是通过用玻璃安培瓶密封MO源后直接放于钢瓶,直接置换钢瓶后充气,并打碎安培瓶,经过滚瓶使样品气均匀混合,但这样很浪费玻璃安培瓶,并且在最初始的操作中,所有的置换操作均为手动操作,时间效率都有所欠缺,存在质量及安全隐患;对液态MO源定量取用一般采取在手套箱内进行定量称重,气氛杂质难以控制,箱内压力也会影响称量精度;多步骤操作,搬运增加很多工作量,也增加了很多风险。因此,解决制备液态MO源时不易定量转移及称重精度不易控制的问题就显得尤为重要了。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的是提供了一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置,通过氢气源加入氢气,气化装置对二乙基碲液态MO源进行气化,吹入接收瓶内,自动完成液态MO源的转移工作,并且通过压力检测控制装置和称重装置进行配合,对液态MO源的重量进行检测,实现定量转移,解决了制备液态MO源时不易定量转移及称重精度不易控制的问题。
本发明提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置,包括氢气源、接收瓶和气化装置,所述氢气源通过输气管连接在接收瓶,所述气化装置设置在氢气源和接收瓶之间的输气管上,所述氢气源与气化装置之间设置有定量装置,通过定量装置控制所需配置浓度的液态MO源输入,所述接收瓶内设置有混合装置,通过混合装置对接收瓶内得气体进行混合。
进一步改进在于:所述气化装置旁设置有压力检测控制装置,通过压力检测控制装置对接收瓶内补充氢气的压力进行检测,并对定量装置的补充进行控制。
进一步改进在于:所述接收瓶下端设置有称重装置,通过称重装置对接收瓶进行称重。
进一步改进在于:所述氢气源旁设置有检漏装置,通过检漏装置对整个装置是否漏气进行检测。
进一步改进在于:所述接收瓶旁设置有控制装置,所述控制装置旁设置有PLC面板,通过PLC面板对控制装置进行操作,并且通过控制装置对接收瓶内配置好的混合气进行检测。
进一步改进在于:所述压力检测控制装置旁设置有置换装置,通过置换装置对平台管线进行置换。
本装置的制备工艺如下:
1、制备前,首先利用检漏装置对平台进行检漏,以确定平台漏率符合质量策划要求。
2、然后在PLC面板上输入操作命令,用置换装置对平台所有线路进行置换,确保平台内氧含量符合质量策划及安全要求。
3、打开氢气源,PLC面板上输入操作命令,操作定量装置,控制所需配置浓度的液态MO源进入系统,并经过气化装置进行气化,气化后的二乙基碲液态MO源被气源载气吹入接收瓶。
4、继续往接收瓶内补充氢气,通过压力检测控制装置补充至计算所需压力,称重装置同时进行检验,复核进气量,确保一致。
5、完成以上步骤后,关闭接收瓶阀门,对平台管线再次进行置换。
6、置换完毕,手动拆除接收瓶与平台的连接,接收瓶瓶口密封,装好瓶帽,启动混合装置进行混合。
7、混合均匀后,重新将接收瓶连接至平台管线,对所有拆开对空的管线再次进行置换。
8、置换完成后,打开检测装置,对接收瓶内配置好的混合气进行检测。
本发明的有益效果是:通过氢气源加入氢气,气化装置对二乙基碲液态MO源进行气化,吹入接收瓶内,自动完成液态MO源的转移工作,并且通过压力检测控制装置和称重装置进行配合,对液态MO源的重量进行检测,实现定量转移,解决了液态MO源定量转移至钢瓶问题。管线置换与物料转移步骤合并,既保证了安全也保证了物料的100%转移,浓度控制好。做到更精确,质量更高,大大提高了混合气的配置效率,降低了安全风险、质量风险。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
其中:1-氢气源,2-接收瓶,3-气化装置,4-定量装置,5-混合装置,6-压力检测控制装置,7-称重装置,8-检漏装置,9-控制装置,10-PLC面板,11-置换装置。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例对本发明作进一步的详述,本实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1所示,本实施例提供一种精确制备液态MO源和氢气混合气的装置,包括氢气源1、接收瓶2和气化装置3,所述氢气源1通过输气管连接在接收瓶2,所述气化装置3设置在氢气源1和接收瓶2之间的输气管上,所述氢气源1与气化装置3之间设置有定量装置4,通过定量装置4控制所需配置浓度的液态MO源输入,所述接收瓶2内设置有混合装置5,通过混合装置5对接收瓶2内得气体进行混合。所述气化装置3旁设置有压力检测控制装置6,通过压力检测控制装置6对接收瓶2内补充氢气的压力进行检测,并对定量装置4的补充进行控制。所述接收瓶2下端设置有称重装置7,通过称重装置7对接收瓶2进行称重。所述氢气源1旁设置有检漏装置8,通过检漏装置8对整个装置是否漏气进行检测。所述接收瓶2旁设置有控制装置9,所述控制装置9旁设置有PLC面板10,通过PLC面板10对控制装置9进行操作,并且通过控制装置9对接收瓶2内配置好的混合气进行检测。所述压力检测控制装置6旁设置有置换装置11,通过置换装置11对平台管线进行置换。