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一种108对棒还原炉底盘

2021-03-10 06:56:22

一种108对棒还原炉底盘

  技术领域

  本实用新型涉及一种108对棒还原炉底盘,属于改良西门子法生产多晶硅领域。

  背景技术

  改良西门子法生产多晶硅是国内、国际上生产多晶硅的主流成熟工艺,其中还原炉是该工艺的核心设备,还原电耗占多晶硅生产电耗的65%左右,所以还原炉的性能往往决定了多晶硅生产工艺的先进性。目前国内主要采用36对棒、40对棒还原炉生产多晶硅,这些炉型的产量相对较低,热辐射利用率低,能耗相对较高。

  专利公开号为CN208700585U的中国专利公开了一种高效节能还原炉底盘,包括底盘,所述底盘上设有中心进料口、n个电极圈层和n-1个进料圈层,其中n≥4且n为正整数;所述电极圈层和进料圈层以中心进料口为圆心间隔设置;每个所述进料圈层设有不少于4个进料口;所述电极圈层从内向外计数,第n电极圈层设有4n对电极;同一电极圈层内相邻两个电极之间等间距设置;第n个所述电极圈层外设有出料圈层,所述出料圈层设有至少两个出料口,所述出料口等间距设置在出料圈层上。

  上述重新设计还原炉底盘上电极和进料口的布局,从而改进还原炉中进行反应的温场和气场,同时提高原料转换率,降低生产成本。本申请还提供一种包括上述高效节能还原炉底盘的多晶硅还原炉;

  但是上述专利中第n电极圈层需要设有4n对电极,同一电极圈层内相邻两个电极之间等间距设置,电极数目设置为逐层递加,偏转角度逐渐变小,当需要进行更大型还原炉设计时,由于数目过多就会造成电极间距离过近,偏转角度过小的问题。

  因此为解决上述问题,有必要开发一种更大型,节能的还原炉,合理的进行底盘布置,充分利用热辐射,进一步降低还原炉运行电耗,提升国内多晶硅行业竞争力。

  实用新型内容

  本实用新型的目的是为了解决上述背景问题中提出的问题,提供一种108对棒还原炉底盘,它结构合理,解决了现有还原炉产量低,电耗高等问题。

  本实用新型的目的是这样实现的:一种108对棒还原炉底盘,包括底盘和尾气孔,所述底盘的中心设置有中心进料喷嘴;

  所述底盘上还包括电极孔圈层和进料喷嘴圈层,每两层电极孔圈层之间设置一层进料喷嘴圈层;

  所述电极孔圈层有7层,所述进料喷嘴圈层有6层;

  所述7层电极孔圈层沿底盘中心向外呈同心圆状均匀设置,由内向外的各圈电极孔圈层中电极孔的数量依次为8、16、24、32、40、48、48;

  所述6层进料喷嘴圈层均设置在电极孔圈层的圈层间隔内,由内向外的各圈进料喷嘴圈层中进料喷嘴的数量依次为4、8、12、16、16、16。

  所述尾气孔设置在最外圈的电极孔圈层外侧,所述尾气孔有8个,并呈圆周状均匀设置。

  所述电极孔圈层中,每两个同圈相邻的电极孔成组搭接,相邻的电极孔距离为200mm~250mm。

  相比于现有技术,本实用新型具有以下优点:

  本实用新型的一种108对棒还原炉底盘,对还原反应过程中产生的各种热量进行整合,充分利用硅棒间的热辐射,有效解决现有还原炉产量有限、一次转化率低、电耗高的问题,从而大幅降低多晶硅生产成本。

  附图说明

  图1为本实用新型一种108对棒还原炉底盘的结构示意图。

  其中:

  1、底盘;2、尾气孔;3、第七电极孔圈层;4、第六电极孔圈层;5、第五电极孔圈层;6、第四电极孔圈层;7、第三电极孔圈层;8、第二电极孔圈层;9、第一电极孔圈层;10、第六进料喷嘴圈层;11、第五进料喷嘴圈层;12、第四进料喷嘴圈层;13、第三进料喷嘴圈层;14、第二进料喷嘴圈层;15、第一进料喷嘴圈层;16、中心进料喷嘴。

  具体实施方式

  下面结合附图和具体实施例对本实用新型加以说明 :

  如图1所示,一种108对棒还原炉底盘,包括底盘1和尾气孔2,所述底盘1的中心设置有中心进料喷嘴16;

  所述底盘1上还包括电极孔圈层和进料喷嘴圈层,每两层电极孔圈层之间设置一层进料喷嘴圈层;

  所述电极孔圈层有7层,所述进料喷嘴圈层有6层;

  所述7层电极孔圈层沿底盘中心向外呈同心圆状均匀设置,由内向外的各圈电极孔圈层中电极孔的数量依次为8、16、24、32、40、48、48;

  所述6层进料喷嘴圈层均设置在电极孔圈层的圈层间隔内,由内向外的各圈进料喷嘴圈层中进料喷嘴的数量依次为4、8、12、16、16、16。

  所述电极孔圈层中,每两个同圈相邻的电极孔成组搭接,相邻的电极孔距离为200mm~250mm。

  在本实施例中,所述中心进料喷嘴16外围设置第一电极孔圈层9,所述第一电极孔圈层9包括8个电极孔;

  所述第一电极孔圈层9外围设置第一进料喷嘴圈层15,所述第一进料喷嘴圈层15包括4个进料喷嘴;

  所述第一进料喷嘴圈层15外围设置第二电极孔圈层8,所述第二电极孔圈层8包括16个电极孔;

  所述第二电极孔圈层8外围设置第二进料喷嘴圈层14,所述第二进料喷嘴圈层14包括8个进料喷嘴;

  所述第二进料喷嘴圈层14外围设置第三电极孔圈层7,所述第三电极孔圈层7包括24个电极孔;

  所述第三电极孔圈层7外围设置第三进料喷嘴圈层13,所述第三进料喷嘴圈层13包括12个进料喷嘴;

  所述第三进料喷嘴圈层13外围设置第四电极孔圈层6,所述第四电极孔圈层6包括32个电极孔;

  所述第四电极孔圈层6外围设置第四进料喷嘴圈层12,所述第四进料喷嘴圈层12包括16个进料喷嘴;

  所述第四进料喷嘴圈层12外围设置第五电极孔圈层5,所述第五电极孔圈层5包括40个电极孔;

  所述第五电极孔圈层5外围设置第五进料喷嘴圈层11,所述第五进料喷嘴圈层11包括16个进料喷嘴;

  所述第五进料喷嘴圈层11外围设置第六电极孔圈层4,所述第六电极孔圈层4包括48个电极孔;

  所述第六电极孔圈层4外围设置第六进料喷嘴圈层10,所述第六进料喷嘴圈层10包括16个进料喷嘴;

  所述第六进料喷嘴圈层10外围设置第七电极孔圈层3,所述第七电极孔圈层3包括48个电极孔。

  在本实施例中,所述尾气孔2设置在第七电极孔圈层3的外围,所述尾气孔2有8个,并呈圆周状均匀设置。

  在本实施例中,相邻电极孔距离(电极间距)采用230mm。

  以上仅是本实用新型的具体应用范例,对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案,均落在本实用新型权利保护范围之内。

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