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一种MEMS桥梁柱结构及其制作方法
2020-11-03
一种MEMS桥梁柱结构及其制作方法技术领域本申请涉及半导体集成电路技术领域,具体涉及一种MEMS桥梁柱结构及其制作方法。背景技术微电子机械系统(Micro-Electro-Mechanical Sy...
晶圆
2020-11-03
晶圆技术领域本公开涉及一种用以获得法布里-帕罗干涉滤光器的晶圆。背景技术作为现有的法布里-帕罗干涉滤光器,已知有具备基板,及在基板上经由空隙互相相对的固定镜及可动镜者...
一种RF MEMS开关的制造和封装方法
2020-11-03
一种RF MEMS开关的制造和封装方法技术领域本发明属于微机电系统(MEMS)领域,尤其涉及一种RF MEMS开关的制造和封装方法。背景技术RF MEMS是MEMS(微机电系统)与RF(射频)技术相...
一种垂直碳纳米管向目标衬底转移的方法
2020-11-03
一种垂直碳纳米管向目标衬底转移的方法技术领域本发明属于微纳系统制造领域,更具体地,涉及一种垂直碳纳米管向目标衬底转移的方法。背景技术碳纳米管被公认为是未来纳米科学和...
微机电系统传感器的封装结构及其封装方法、及电子设备
2020-11-03
微机电系统传感器的封装结构及其封装方法、及电子设备技术领域本发明涉及系统级封装结构技术领域,特别涉及一种微机电系统传感器的封装结构及其封装方法、及电子设备。背景技...
一种基于窗口式基板的无引线MEMS芯片封装结构
2020-11-03
一种基于窗口式基板的无引线MEMS芯片封装结构技术领域本实用新型涉及半导体封装技术领域,尤其是一种基于窗口式基板的无引线MEMS芯片封装结构。背景技术目前,随着自动驾驶以及...
静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法
2020-11-03
静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法技术领域本发明属于微电子机械系统(MEMS)技术领域,特别是涉及一种静电驱动MEMS微镜阵列及其制备方法。背景技术MEMS微镜阵列是随着MEMS微加...
一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法
2020-11-03
一种高品质因子压电悬臂梁密度传感器芯片及其工作方法和制备方法技术领域本发明涉及MEMS(Micro Electromechanical Systems,微型机械电子系统)传感器领域,更具体地说,涉及一种...
微机电部件及其制造方法
2020-11-02
微机电部件及其制造方法技术领域本发明涉及微机电部件及其制造方法。背景技术本发明旨在应用于布置在CMOS电路上的微机电部件(MEMS部件)。使用各种微机械制造方法,特别是使用...
一种基于留置针的仿生型拉曼基底及其制备和应用
2020-11-02
一种基于留置针的仿生型拉曼基底及其制备和应用技术领域本发明涉及一种基于留置针的仿生型拉曼基底及其制备和应用,属于生物医学研究 和临床检测诊断技术领域。背景技术恶性...
一种微压传感器芯片及其制备方法
2020-11-02
一种微压传感器芯片及其制备方法技术领域本发明属于MEMS压阻式微压传感器技术领域,具体涉及一种微压传感器芯片及其制备方法。背景技术当前MEMS微压传感器已经广泛的应用于生...
非平面图案化纳米结构表面及用于其制造的印刷方法
2020-11-02
非平面图案化纳米结构表面及用于其制造的印刷方法背景技术柱形工具辊可用于各种工业操作,尤其是辊对辊制造。可以使用金刚石车削机制造包括长度尺度在单微米及以上量级的结构...
用于低应力MEMS封装的粘接结构和封装结构
2020-11-02
用于低应力MEMS封装的粘接结构和封装结构技术领域本实用新型涉及低应力MEMS封装技术领域,尤其涉及一种针对惯性传感器的低应力MEMS封装的三维粘接结构和封装结构,以及用于实现...
一种基于石墨烯的微型分子光镊
2020-11-02
一种基于石墨烯的微型分子光镊技术领域本发明涉及分析测试仪器技术领域,具体涉及一种基于石墨烯的微型分子光镊。背景技术近年来,随着互联网和网络数据传输业务的飞速发展,生产...
一种二维材料超精密加工方法
2020-11-02
一种二维材料超精密加工方法技术领域本发明属于二维材料超精密加工技术领域,具体涉及一种多场下的二维材料超精密加工方法。背景技术以石墨烯为代表的二维材料是指在一个维度...
一种基于旋转杆单元的负泊松比结构
2020-11-02
一种基于旋转杆单元的负泊松比结构技术领域本发明涉及机械超材料结构设计技术领域,具体涉及一种基于旋转杆单元的负泊松比结构。背景技术与传统材料相比,负泊松比材料具有独特...
一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法
2020-11-02
一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法技术领域本发明涉及射频微机技术领域,具体涉及一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法。背景技术RF MEMS(射频微机电系统)开...
一种混合成像探测器结构
2020-11-02
一种混合成像探测器结构技术领域本发明涉及半导体集成电路和传感器技术领域,特别是涉及一种能够同时探测可见光和红外光的混合成像探测器结构。背景技术目前,可见光和中远红外...
谐振式MEMS差压压力传感器及其制备方法
2020-11-02
谐振式MEMS差压压力传感器及其制备方法技术领域本发明涉及微纳电子器件加工、圆片级高真空无引线封装、MEMS制作及压力测量领域,尤其涉及一种谐振式MEMS差压压力传感器及其制...
传感器芯片及力传感器装置
2020-11-02
传感器芯片及力传感器装置技术领域本发明涉及传感器芯片及力传感器装置。背景技术一直以来,已知有力传感器装置,其在由金属构成的应变体粘贴多个应变仪,通过将施加有外力时的形...
一种超声传感器结构及其制造方法
2020-11-02
一种超声传感器结构及其制造方法技术领域本发明涉及半导体集成电路和传感器技术领域,特别是涉及一种超声传感器结构及其制造方法。背景技术目前,已开发出许多MEMS超声传感器。...
一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法
2020-11-02
一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法技术领域本发明涉及微机电(MEMS)技术领域的传感器,尤其涉及一种背面引线的仿生纤毛电容式微传感器及其制备方法;特别涉及一...
微结构上图案化的纳米结构
2020-11-02
微结构上图案化的纳米结构技术领域本发明通常涉及光学元件,特别是涉及使用微结构和纳米结构的光学显示,该微结构和纳米结构用于产生对应用(例如显示和防伪)有利的光学效果。背...
一种基于磁流体中颗粒悬浮现象的磁控电开关装置
2020-11-02
一种基于磁流体中颗粒悬浮现象的磁控电开关装置技术领域本发明涉及微机电系统领域,尤其涉及一种基于磁流体中颗粒悬浮现象的磁控电开关装置。背景技术开关是一种控制电路中能...
基于三维石墨烯的集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法
2020-11-02
基于三维石墨烯的集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法技术领域本发明涉及能量回收与存储技术领域,具体涉及一种基于三维石墨烯的集成微纳能量回收存储芯片及其工作方法。背...
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