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一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法
2023-05-21
一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法技术领域本发明属于微电子机械系统(MEMS)技术领域,涉及一种双悬臂梁波导耦合光电式MEMS触觉传感器及其制作方法。背景技...
一种可实现高效更换与安装原子气室的高适配性容器
2023-03-21
一种可实现高效更换与安装原子气室的高适配性容器技术领域本发明涉及高精度测量邻域,尤其是涉及一种可实现高效更换与安装原子气室的高适配性容器。背景技术原子气室作为高精...
用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法
2023-03-11
用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法技术领域本发明涉及射频微电子机械系统领域和天线领域,尤其涉及用于生成甚低频信号的信号发射元及制作方法。背景技术甚低频(VLF,Ve...
一种微压探测压力传感器及其测量装置
2021-04-25
一种微压探测压力传感器及其测量装置技术领域本发明涉及微纳机电系统(MEMS)传感器技术领域,尤其涉及一种基于硅铝异质结构的微压探测压力传感器及其测量装置。背景技术气压是...
一种耐高温碳化硅压力传感器及其制备方法
2021-04-25
一种耐高温碳化硅压力传感器及其制备方法【技术领域】本发明属于微机电系统(MEMS)压力传感器制造技术领域,具体涉及一种耐高温碳化硅压力传感器及其制备方法。【背景技术】压...
一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用
2021-04-25
一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用技术领域本发明涉及微纳加工技术领域,尤其涉及一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用。背景技术通常所见的液滴的形状...
基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法
2021-04-25
基于溶胶-凝胶法和电射流沉积法的复合型PZT压电膜的制备方法技术领域本发明属于微机电系统(MEMS)技术领域,具体涉及溶胶-凝胶法制备PZT压电薄膜和电射流沉积法制备PZT压电厚...
一种铝基花状复合纳米结构的SERS基底的制备方法及SERS基底
2021-04-24
一种铝基花状复合纳米结构的SERS基底的制备方法及SERS基底技术领域本发明涉及图案化纳米材料的制备,具体涉及一种铝基花状复合纳米结构的SERS基底的制备方法及SERS基底。背景...
MEMS载板的声孔的加工方法
2021-04-24
MEMS载板的声孔的加工方法技术领域本发明涉及电路板制作技术领域,具体提供一种MEMS载板的声孔的加工方法。背景技术随着电子技术的发展和人们对电子产品小型化、高度集成化的...
一种压力传感器
2021-04-23
一种压力传感器技术领域本实用新型涉及压力传感技术领域,特别涉及一种压力传感器。背景技术压力传感器在工业生产、医疗卫生、环境监测以及科学研究等众多领域有着广泛的应用...
基于双刮刀技术的二维分子晶体的图案化制备方法
2021-04-23
基于双刮刀技术的二维分子晶体的图案化制备方法技术领域本发明涉及有机半导体薄膜的制备技术领域,特别是涉及一种基于双刮刀技术的二维分子晶体的图案化制备方法。背景技术目...
基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置
2021-04-23
基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置技术领域本实用新型涉及微机电系统(MEMS)和微惯性导航的测量仪表技术领域,具体涉及到一种基于双层静电弱耦合效应的石墨烯...
可防水的微机电芯片封装结构
2021-04-08
可防水的微机电芯片封装结构技术领域本发明涉及微机电芯片封装结构领域,特别涉及一种可防水的微机电芯片封装结构。背景技术现今的微机电芯片封装结构主要是利用一层保护胶体...
一种微机电设备及其制造方法
2021-04-08
一种微机电设备及其制造方法技术领域本发明涉及微机电设备技术领域,具体为一种微机电设备及其制造方法。背景技术微机电系统(缩写为MEMS)是将微电子技术与机械工程融合到一起...
一种微流控芯片模内溶剂键合的制备方法
2021-04-07
一种微流控芯片模内溶剂键合的制备方法技术领域本发明涉及微流控技术领域,具体涉及一种微流控芯片模内溶剂键合的制备方法。背景技术微流控芯片(Microfluidic chips)是微型化...
一种用于调控p-Si/n-ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法
2021-04-07
一种用于调控p-Si/n-ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法技术领域本发明涉及半导体异质结器件领域,具体涉及一种用于调控p-Si/n-ZnO薄膜异质结电学性能和光电输出的方法。...
一种基于通孔互连的红外温度传感器封装结构及封装方法
2021-04-07
一种基于通孔互连的红外温度传感器封装结构及封装方法技术领域本发明属于电子机械技术领域,具体涉及一种基于通孔互连的红外温度传感器封装结构及封装方法。背景技术红外温度...
半导体封装结构、产品及其制造方法
2021-04-06
半导体封装结构、产品及其制造方法技术领域本发明涉及半导体封装结构、产品和制造方法,并且涉及包含具有标记(mark)的透气薄膜(air-permeable film)的半导体封装结构、具有形...
一种面向谐振式MEMS传感器的拱形谐振器及MEMS加速度计
2021-04-02
一种面向谐振式MEMS传感器的拱形谐振器及MEMS加速度计技术领域本发明属于谐振器技术领域,更具体地,涉及一种面向谐振式MEMS传感器的拱形谐振器及MEMS加速度计。背景技术谐振梁...
一种基于AlN的压电MEMS水听器及其制备方法
2021-04-02
一种基于AlN的压电MEMS水听器及其制备方法技术领域本发明涉及压电水听器领域,具体为一种以AlN为压电材料的低频、高灵敏度的MEMS压电水听器。背景技术随着MEMS技术的快速发展...
一种快速响应的油中水分湿敏电容
2021-04-01
一种快速响应的油中水分湿敏电容技术领域本发明涉及传感器技术领域,特别提供了一种采用MEMS技术制作的快速响应的油中水分湿敏电容。背景技术液压油等油液中的水分会引起油液...
包括面板键合操作的方法和包括空腔的电子器件
2021-03-31
包括面板键合操作的方法和包括空腔的电子器件技术领域本公开总体涉及电子器件及其制造方法。特别地,本公开涉及包括面板键合操作的方法和包括由这种方法制造的空腔的电子器件...
微机械惯性传感器
2021-03-31
微机械惯性传感器技术领域本发明涉及一种微机械惯性传感器。本发明还涉及一种用于制造微机械惯性传感器的方法。背景技术微机电加速度传感器(MEMS加速度传感器)现今使用在多...
一种高灵敏度微型皮拉尼计
2021-03-31
一种高灵敏度微型皮拉尼计技术领域本发明涉及一种微型皮拉尼计,特别是一种基于正、负电阻温度系数的高灵敏度微型皮拉尼计的结构及制作方法,属于微电子机械系统(Micro-Electro...
惯性传感器的封装结构
2021-03-30
惯性传感器的封装结构技术领域本实用新型涉及MEMS惯性传感器封装技术领域,特别涉及惯性传感器的封装结构。背景技术微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System),简称MEM...
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