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一种热稳定的导电金属薄膜及其制备方法和应用
2020-11-06
一种热稳定的导电金属薄膜及其制备方法和应用技术领域本发明涉及金属薄膜材料领域,具体涉及一种热稳定的导电金属薄膜及其制备方法和应用。背景技术金属薄膜材料在微机械系统...
用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构
2020-11-06
用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构技术领域本发明涉及一种用于制造MEMS结构的方法和相应的MEMS结构。背景技术尽管也能够使用任意的微机械构件(mikromechanische Baue...
一种MEMS器件的刚度调节方法
2020-11-05
一种MEMS器件的刚度调节方法技术领域本发明涉及一种基于材料热失配的MEMS器件刚度调节方法,属于微机电系统领域。背景技术微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,简称ME...
一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法
2020-11-05
一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法技术领域本发明属于传感器技术领域,特别涉及一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法。背景技术磁传感器被应用在各种场所,如汽车工业,生物...
一种气体传感器芯片一体化微加工装置
2020-11-05
一种气体传感器芯片一体化微加工装置技术领域本发明属于气体传感器相关技术领域,更具体地,涉及一种气体传感器芯片一体化微加工装置。背景技术气体传感器作为传感器类型中不可...
纳米柱的制备方法和纳米柱LED器件的制备方法
2020-11-05
纳米柱的制备方法和纳米柱LED器件的制备方法技术领域本发明实施例涉及微纳器件制造技术领域,尤其涉及一种纳米柱的制备方法和纳米柱LED器件的制备方法。背景技术低维半导体器...
单类和多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法
2020-11-05
单类和多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法技术领域本发明涉及微小物体移动技术领域,更具体地,涉及单类和多类微小物体悬浮定向移动及自主装巨量转移方法。背景技术...
微系统封装方法
2020-11-04
微系统封装方法技术领域本申请涉及微系统技术领域,特别是涉及一种微系统封装方法。背景技术随着人类社会全面进入信息化时代,生产生活中需要对越来越多的场景和对象进行实时监...
传感器封装结构及封装方法
2020-11-04
传感器封装结构及封装方法技术领域本发明涉及半导体封装领域,具体涉及传感器封装结构及封装方法。背景技术传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一...
一种二轴对称多孔腔状阵列结构及其制备方法
2020-11-03
一种二轴对称多孔腔状阵列结构及其制备方法技术领域本发明涉及纳米复合材料微加工技术领域,尤其涉及一种二轴对称多孔腔状阵列结构及其制备方法。背景技术在过去数十年里,具有...
一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法
2020-11-03
一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法技术领域本发明涉及微机电系统技术领域,具体而言,涉及一种柔性主动式微混合器件集成系统及制备方法,包括柔性主动式微混合器件、基...
一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法
2020-11-03
一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法技术领域本发明涉及热电堆传感器领域,具体涉及一种MEMS热电堆红外探测器及 其制备方法。背景技术热电堆探测器的工作原理是以塞贝克效...
一种全柔性热释电红外探测器
2020-11-03
一种全柔性热释电红外探测器技术领域本发明涉及热释电探测器结构设计领域,特别具体涉及一种全柔性热释电红外探测器。背景技术热释电红外探测器是利用热释电材料的自发极化强...
有机硅系接着片、含有其的积层体、半导体装置的制造方法
2020-11-03
有机硅系接着片、含有其的积层体、半导体装置的制造方法技术领域本发明涉及一种表面具有微粘着性,能够将所切割的半导体芯片等容易地暂时固定至半导体基材上,并且通过二次固化...
富集器芯片结构及其制备方法
2020-11-03
富集器芯片结构及其制备方法技术领域本发明属于微电子机械系统领域,特别是涉及一种富集器芯片结构及其制备方法。背景技术富集是一种重要的分析技术。富集器是气体分析仪器(...
一种MEMS器件及其加工方法
2020-11-03
一种MEMS器件及其加工方法技术领域本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种MEMS器件及其加工方法。背景技术MEMS(Micro Electro Mechanical System,微机电系统)器件由于其体积...
一种各向异性纳米材料的取向方法
2020-11-03
一种各向异性纳米材料的取向方法技术领域本发明属于取向纳米材料技术领域,具体涉及一种各向异性纳米材料的取向方法。背景技术随着信息产业的迅猛发展,信息传递与信息安全引起...
一种制备变径纳米结构的方法
2020-11-03
一种制备变径纳米结构的方法技术领域本发明属于材料领域。具体地,本发明涉及一种制备变径纳米结构的方法。背景技术由于三维纳米结构具有独特的三维结构,进而能够呈现出很多奇...
多个MEMS音频转换器的制造方法
2020-11-03
多个MEMS音频转换器的制造方法技术领域本发明涉及一种多个MEMS音频转换器的制造方法,所述MEMS音频转换器特别是用于产生和/或检测可听波长谱和/或超声波范围中的声波;以及一种...
一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法
2020-11-03
一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法技术领域本发明涉及一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法,属于薄膜制造领域和微纳加工领域。背景技术随着微电子技术的快...
一种光学元器件的超材料微纳加工流水线
2020-11-03
一种光学元器件的超材料微纳加工流水线技术领域本实用新型属于光学元器件生产技术领域,具体涉及一种光学元器件的超材料微纳加工流水线。背景技术光学元器件是组成光学仪器中...
一种散热效果好的MEMS芯片的封装结构
2020-11-03
一种散热效果好的MEMS芯片的封装结构技术领域本实用新型涉及MEMS芯片封装技术领域,具体为一种散热效果好的MEMS芯片的封装结构。背景技术MEMS芯片是基于微机电工艺制作的传感...
一种圆片级玻璃腔体的制造方法
2020-11-03
一种圆片级玻璃腔体的制造方法技术领域本发明属于微机械电子MEMS制造技术,特别涉及一种圆片级玻璃腔体的制造方法。背景技术在MEMS制造技术领域,键合用玻璃(一种含有碱性离子...
基于立体电极结构的柔性弯曲传感器及加工方法
2020-11-03
基于立体电极结构的柔性弯曲传感器及加工方法技术领域本发明涉及柔性弯曲传感器领域,尤其涉及一种基于立体电极结构的柔性弯曲传感器及加工方法。背景技术随着传感器技术、计...
一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法
2020-11-03
一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法技术领域本发明属于MEMS压阻式微压传感器技术领域,具体涉及一种隔离槽阵列结构的压力传感器芯片及其制备方法。背景技术随着...
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