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用于压力传感器的具有EMI能力的介质屏蔽
2021-03-16
用于压力传感器的具有EMI能力的介质屏蔽技术领域本公开总体上涉及封装压力传感器装置,并且更具体地说,涉及保护电路系统免受介质污染以及保护电路系统免受电磁干扰(EMI)的能力...
一种制备碳纳米链@金网络膜的方法
2021-03-16
一种制备碳纳米链@金网络膜的方法技术领域本发明是一种低成本、宏量制备碳纳米链@金网络膜的方法,属于贵金属微纳结构的制备领域。背景技术由于在催化、传感、燃料电池等方面...
原子腔结构及其制作方法
2021-03-16
原子腔结构及其制作方法技术领域本发明涉及原子物理器件领域,尤其涉及一种原子腔结构及其制作方法。背景技术近年来随着微纳加工技术发展,基于微机电系统(MEMS)技术的微型化、...
用于电容式传感器设备的微机械构件
2021-03-16
用于电容式传感器设备的微机械构件技术领域本发明涉及一种用于电容式传感器设备的微机械构件和一种电容式传感器设备。本发明也涉及一种用于电容式传感器设备的微机械构件的...
惯性传感器的封装结构
2021-03-16
惯性传感器的封装结构技术领域本实用新型涉及MEMS惯性传感器封装技术领域,特别涉及惯性传感器的封装结构。背景技术微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System),简称MEM...
一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用
2021-03-16
一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备方法和应用技术领域本发明涉及局域表面等离子体传感器件技术领域,尤其涉及一种耐高温局域表面等离子体纳米传感器件及其制备...
一种磁通门芯片的制备方法
2021-03-16
一种磁通门芯片的制备方法技术领域本发明属于磁通门传感器技术领域,涉及一种制备方法,特别是一种磁通门芯片的制备方法。背景技术传统的磁通门传感器是通过在软磁薄膜磁芯上绕...
一种实用化射频MEMS开关双层牺牲层的制备方法
2021-03-15
一种实用化射频MEMS开关双层牺牲层的制备方法技术领域本发明属于牺牲层的制备方法技术领域,具体涉及一种实用化射频MEMS开关双层牺牲层的制备方法。背景技术牺牲层工艺是制作...
基于十字交叉微米线构筑的隧穿发光二极管及其制备方法
2021-03-14
基于十字交叉微米线构筑的隧穿发光二极管及其制备方法技术领域本发明涉及半导体光电子集成电路领域,涉及发光二极管,涉及电子传输调制方面,具体涉及十字交叉微米线构筑隧穿二极...
一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法
2021-03-14
一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法技术领域本发明涉及一种加工微纳复合结构的装置及方法,尤其是一种基于针尖轨迹运动加工微纳复合结构的装置及方法,属于微纳...
一种宽响应频带质点振速传感器
2021-03-14
一种宽响应频带质点振速传感器技术领域本发明涉及传感器领域,特别涉及一种宽响应频带质点振速传感器。背景技术声信号包含标量声压信号和矢量质点振速信号两个参量值,他们分别...
一种多周期金纳米岛三氧化二铝包裹层的拉曼增强基底
2021-03-13
一种多周期金纳米岛三氧化二铝包裹层的拉曼增强基底技术领域本实用新型涉及表面增强拉曼散射基底技术领域,具体是一种多周期金纳米岛三氧化二铝复合层拉曼增强基底。背景技术...
一种防泄漏硅压传感器
2021-03-13
一种防泄漏硅压传感器技术领域本实用新型属于传感器技术领域,特别涉及一种硅压传感器。背景技术采用MEMS工艺制作而成的硅压传感器具有结构简单、灵敏度高、高可靠性等特点,广...
一种用于改良逾渗系统的纳米桥的制备方法及其应用
2021-03-13
一种用于改良逾渗系统的纳米桥的制备方法及其应用技术领域本发明属于纳米材料制备技术领域,具体涉及一种用于改良逾渗系统的纳米桥的制备方法及其应用。背景技术具有各种物理...
内插器衬底、MEMS设备以及相应的制造方法
2021-03-12
内插器衬底、MEMS设备以及相应的制造方法技术领域本发明涉及一种内插器衬底、MEMS设备以及相应的制造方法。背景技术虽然可以应用于任意的微机械设备和系统,但本发明和基于本...
一种生物检测芯片衬底及其制备方法
2021-03-12
一种生物检测芯片衬底及其制备方法技术领域本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种生物检测芯片衬底及其制备方法。背景技术当前,病毒检测诊断常使用定量荧光聚合酶链式反应核...
基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针
2021-03-11
基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针技术领域本发明属于微纳米制造领域,尤其涉及一种基于飞秒激光与高温成型悬臂梁探针的方法及悬臂梁探针。背景技术微型悬...
应力解耦和粒子过滤器集成
2021-03-11
应力解耦和粒子过滤器集成技术领域本公开大体上涉及半导体器件及其制造方法,并且更特别地涉及具有应力缓解机制的应力敏感传感器。背景技术微机电系统(MEMS)是微观器件,特别是...
一种微系统模组中硅空腔下TSV地互联孔结构的制作方法
2021-03-11
一种微系统模组中硅空腔下TSV地互联孔结构的制作方法技术领域本发明涉及半导体封装领域,特别是一种微系统模组中硅空腔下TSV地互联孔结构的制作方法。背景技术随着硅基微机电...
封装用的引线定位装置
2021-03-11
封装用的引线定位装置技术领域本发明涉及封装技术领域,特别是涉及一种封装用的引线定位装置。背景技术MEMS传感器封装引线占据器件制造50~80%的成本和工序。可靠地封装引线不仅...
薄膜滤波器及其基体、薄膜滤波器及其基体的制造方法、MEMS麦克风及其制造方法
2021-03-11
薄膜滤波器及其基体、薄膜滤波器及其基体的制造方法、MEMS麦克风及其制造方法技术领域本发明涉及一种用于防止颗粒、水等进入的薄膜滤波器、具有薄膜滤波器的薄膜滤波器基体...
一种3D微/纳米结构的构筑方法
2021-03-11
一种3D微/纳米结构的构筑方法技术领域本发明涉及一种纳米结构的构筑方法,尤其涉及一种3D微/纳米结构的构筑方法。背景技术在微/纳米尺度下,材料的电子、光子及声子运动规律受...
一种惯性传感器及制作方法
2021-03-10
一种惯性传感器及制作方法技术领域本发明涉及半导体集成电路和传感器技术领域,特别是涉及一种基于表面硅工艺的电容阵列式高性能惯性传感器及制作方法。背景技术传统惯性传感...
一种MEMS传感器封装结构
2021-03-10
一种MEMS传感器封装结构技术领域本实用新型属于MEMS传感器封装技术领域,具体涉及一种MEMS传感器封装结构。背景技术以MEMS加速度计、MEMS陀螺为代表的MEMS传感器已经广泛应用...
一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法
2021-03-10
一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法技术领域本发明涉及微机电技术领域,具体涉及一种用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜及制备方法。背景技术随着各种先...
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