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一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法

2022-12-26 22:22:21

一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法

  技术领域

  本发明涉及坩埚加工领域,具体涉及一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法。

  背景技术

  光伏行业中,为了追求铸造技术的低成本、低能耗和大尺寸优势,同时,为了将单晶的高效率、高质量优势结合到多晶生产过程中,以提高多晶铸锭企业生产效率和竞争力,多采用铸锭单晶技术。在铸锭单晶技术中,先为坩埚本体制作完成后制作一层0.5~1mm厚度的高纯隔离层,铸锭前对坩埚进行氮化硅涂层喷涂,氮化硅涂层非常疏松,不能有效阻隔坩埚杂质进入硅锭,造成铸锭单晶底部红区≥50mm,直接影响铸锭单晶成品率,同时由于坩埚平整度不能满足要求,影响仔晶的安装及长晶界面易造成硅块位错、孪晶界等缺陷的产生。因而,现有技术中的铸锭单晶技术存在如下缺陷:

  1、铸造单晶底部红区长,降低了铸造单晶成品率,

  2、铸造单晶硅块位错等缺陷增殖很快;

  发明内容

  针对上述现有技术存在的问题,本发明提供一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法,该方法可以有效降低铸锭单晶底部红区,能优化底部平整度、优化仔晶的拼接摆放,可降低位错等缺陷的增殖。

  为了实现上述目的,本发明提供一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法,包括以下方法:

  步骤一:浆料A制备;

  按照重量份数计,称取75~85份100~200目熔融石英颗粒、10~20份的去离子水置于球磨机中磨制成粒径D50为3.5~8.0um的石英浆料,取出后置于高速分散机中搅拌,并向高速分散机中依次加入10~30份的硅溶胶、20~50份的D50为50~100um熔融石英粉料、40~80份的D50为100~300um熔融石英粉料、10~25份的高纯陶瓷粘结剂,充分搅拌后形成浆料A,备用;

  步骤二:浆料B制备;

  按照重量份数计,称取60~70份的熔融石英颗粒、20~40份的去离子水置于球磨机中磨制成粒径D50为8~20um的石英浆料,取出后置于搅拌机中,并向搅拌机中依次加入10~20份的硅溶胶,20~40份的D50为50~100um的熔融石英粉料,充分搅拌后形成浆料B,备用;

  步骤三:浆料C制备;

  按照重量份数计,称取30~100份的熔融石英颗粒、20~80份的结晶态石英置于球磨机中磨制成粒径D50为5~30um的石英浆料,取出后将石英浆料:硅溶胶:粘结剂:水按照100:10~30:1~5:10~30的比例配置后形成浆料C,备用;

  步骤四:浆料D制备;

  按照重量份数计,称取100份粒径D50为1~5um的氮化硅、60~100份的去离子水置于搅拌机搅拌均匀,再依次加入0.5~3份的氮化硅助烧剂、10~50份的硅溶胶、1~5份的高纯粘结剂充分搅拌后形成浆料D,备用;

  步骤五:制作底部衬平层;

  将坩埚基体处理干净,使用压缩空气进行吹扫,并对坩埚底部进行补水500~1000g/㎡,称取2000~3000g浆料A后再使用塑料铲将浆料A刮附于坩埚底面形成底部衬平层,涂覆完成后置于温度50~80℃的养护窑中养护5~12h;

  步骤六:制作粗糙疏松层;

  养护完成后使用称取600~800g浆料B置于高压气动喷枪中,使用隔膜将坩埚内部的四面进行保护,调节气压为0.25~0.5bar,距离坩埚底部30~50cm距离,均匀的喷附于坩埚底部形成粗糙疏松层;

  步骤七:制作石英致密隔离层;

  接着称取1500~2000g的浆料C,使用毛刷进行均匀的涂覆于坩埚底部形成石英致密隔离层,涂覆完成后置于80~200℃烘干窑中烘干3~6h;

  步骤八:制作氮化硅致密隔离层;

  烘干冷却后后检查坩埚底部涂层无异常后,称取600~1500g的浆料D,使用毛刷均匀刷涂于坩埚底部形成氮化硅致密隔离层,刷涂完成后置于70~120℃烘干1~3h后冷却即可。

  进一步,为了有效解决氮化硅疏松的难题,在步骤四中氮化硅助烧剂包括但不限于氧化铝、氧化钇、氧化镁、氧化铈中的一种或多种。

  进一步,为了提高喷涂效果,所述熔融石英颗粒、结晶态石英和氮化硅的纯度均大于等于99.995%。

  进一步,为了使底衬能有效地平整坩埚的底部,在步骤五中,所述底部衬平层的厚度为1~3mm。

  进一步,为了能更有效的降低杂质迁移的速率,在步骤六中,粗糙疏松层厚度为0.5mm~1.5mm。

  进一步,为了能更有效的降低杂质迁移的速率,在步骤七中,所述石英致密隔离层厚度为0.5~1mm。

  进一步,为了提高隔离效果,在步骤八中,所述致密氮化硅隔离层,厚度为0.5~2mm。

  进一步,为了保证后续涂层的平整度,在步骤五中,底部衬平层的平整度小于等于1mm。

  作为一种优选,所述球磨机为氧化锆球磨机。

  本发明中使底部涂层的多层结构,并在底部平整度制作方面突破性的使用涂层替代底部打磨的方式,不仅可以保证了底部平整度的合格,还有效降低了杂质的引入几率,同时,通过致密层和疏松层的结合的方式降低了杂质迁移速率,通过氮化硅助烧剂添加的方式突破性的解决了氮化硅疏松的难题,进而可有效降低了底部红区长度。现有铸锭用坩埚均基于铸锭多晶技术,本发明结合铸锭单晶工艺采用多层结构免喷涂层,可有效降低铸锭单晶底部红区,并优化了底部平整度、优化了仔晶的拼接摆放,降低位错等缺陷的增殖。

  具体实施方式

  下面将对本发明作进一步说明。

  本发明提供了一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法,包括以下方法:

  步骤一:浆料A制备;

  按照重量份数计,称取75~85份100~200目熔融石英颗粒、10~20份的去离子水置于球磨机中磨制成粒径D50为3.5~8.0um的石英浆料,取出后置于高速分散机中搅拌,并向高速分散机中依次加入10~30份的硅溶胶、20~50份的D50为50~100um熔融石英粉料、40~80份的D50为100~300um熔融石英粉料、10~25份的高纯陶瓷粘结剂,充分搅拌后形成浆料A,备用;

  步骤二:浆料B制备;

  按照重量份数计,称取60~70份的熔融石英颗粒、20~40份的去离子水置于球磨机中磨制成粒径D50为8~20um的石英浆料,取出后置于搅拌机中,并向搅拌机中依次加入10~20份的硅溶胶,20~40份的D50为50~100um的熔融石英粉料,充分搅拌后形成浆料B,备用;

  步骤三:浆料C制备;

  按照重量份数计,称取30~100份的熔融石英颗粒、20~80份的结晶态石英置于球磨机中磨制成粒径D50为5~30um的石英浆料,取出后将石英浆料:硅溶胶:粘结剂:水按照100:10~30:1~5:10~30的比例配置后形成浆料C,备用;

  步骤四:浆料D制备;

  按照重量份数计,称取100份粒径D50为1~5um的氮化硅、60~100份的去离子水置于搅拌机搅拌均匀,再依次加入0.5~3份的氮化硅助烧剂、10~50份的硅溶胶、1~5份的高纯粘结剂充分搅拌后形成浆料D,备用;

  步骤五:制作底部衬平层;

  将坩埚基体处理干净,使用压缩空气进行吹扫,并对坩埚底部进行补水500~1000g/㎡,称取2000~3000g浆料A后再使用塑料铲将浆料A刮附于坩埚底面形成底部衬平层,涂覆完成后置于温度50~80℃的养护窑中养护5~12h;

  步骤六:制作粗糙疏松层;

  养护完成后使用称取600~800g浆料B置于高压气动喷枪中,使用隔膜将坩埚内部的四面进行保护,调节气压为0.25~0.5bar,距离坩埚底部30~50cm距离,均匀的喷附于坩埚底部形成粗糙疏松层;

  步骤七:制作石英致密隔离层;

  接着称取1500~2000g的浆料C,使用毛刷进行均匀的涂覆于坩埚底部形成石英致密隔离层,涂覆完成后置于80~200℃烘干窑中烘干3~6h;

  步骤八:制作氮化硅致密隔离层;

  烘干冷却后后检查坩埚底部涂层无异常后,称取600~1500g的浆料D,使用毛刷均匀刷涂于坩埚底部形成氮化硅致密隔离层,刷涂完成后置于70~120℃烘干1~3h后冷却,使用时不需对坩埚底部进行喷涂作业,在坩埚面墙喷涂完成后即可装料。

  为了有效解决氮化硅疏松的难题,在步骤四中氮化硅助烧剂包括但不限于氧化铝、氧化钇、氧化镁、氧化铈中的一种或多种。

  为了提高喷涂效果,所述熔融石英颗粒、结晶态石英和氮化硅的纯度均大于等于99.995%。

  为了使底衬能有效地平整坩埚的底部,在步骤五中,所述底部衬平层的厚度为1~3mm。

  为了能更有效的降低杂质迁移的速率,在步骤六中,粗糙疏松层厚度为0.5mm~1.5mm。

  为了能更有效的降低杂质迁移的速率,在步骤七中,所述石英致密隔离层厚度为0.5~1mm。

  为了提高隔离效果,在步骤八中,所述致密氮化硅隔离层,厚度为0.5~2mm。

  为了保证后续涂层的平整度,在步骤五中,底部衬平层的平整度小于等于1mm。

  作为一种优选,所述球磨机为氧化锆球磨机。

  本发明中使底部涂层的多层结构,并在底部平整度制作方面突破性的使用涂层替代底部打磨的方式,不仅可以保证了底部平整度的合格,还有效降低了杂质的引入几率,同时,通过致密层和疏松层的结合的方式降低了杂质迁移速率,通过氮化硅助烧剂添加的方式突破性的解决了氮化硅疏松的难题,进而可有效降低了底部红区长度,通过多次实验,通过本方法可以有效降低底部红区长度15mm。现有铸锭用坩埚均基于铸锭多晶技术,本发明结合铸锭单晶工艺采用多层结构免喷涂层,可有效降低铸锭单晶底部红区,并优化了底部平整度、优化了仔晶的拼接摆放,降低位错等缺陷的增殖。

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