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衍射光学元件的检测系统及方法

2021-02-07 06:48:48

衍射光学元件的检测系统及方法

  技术领域

  本申请涉及3D成像技术领域,具体而言,涉及一种衍射光学元件的检测系统及方法。

  背景技术

  衍射光学元件(Diffractive Optical Element,简称DOE)是一种发展迅猛的新型光学元件,被广泛应用于3D(3-Dimension,三维)深度相机的激光投射模组中,DOE的性能直接影响投影图案质量,进一步影响深度相机的深度成像效果。

  DOE的衍射行为可以分为准静态区衍射(光栅常数d<λ/2)、共振区衍射(λ/2<d<10λ)、标量衍射区(d>10λ),三种衍射的不同主要产生于光波与DOE相互作用的不同,相应地DOE衍射特性的研究理论也分为标量衍射理论和矢量衍射理论两大类。一般的DOE光栅结构周期d与设计光波长λ在同一数量级(λ<d<10λ),两者处于共振区内,而DOE复杂的光栅结构具有各向异性的特点,这种光栅结构会产生与光偏振方向相关的传输损耗现象。

  在现有的在DOE的检测系统中所采用的光源都为线偏振光,在DOE的性能测试时,通常需要测试两次,即把DOE分别在0度和旋转90度两个方向上进行检测,此种检测方法不仅检测效率低,而且在测试过程中,极其容易损坏产品。

  发明内容

  本申请实施例的目的在于提供一种衍射光学元件的检测系统及方法,以高效安全地对衍射光学元件进行检测。

  为了实现上述目的,本申请的实施例通过如下方式实现:

  第一方面,本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测系统,包括:光源、分束部、固定部和检测部,所述光源,用于向所述分束部发射线偏振光;所述分束部,用于将接收的所述线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光;所述固定部,用于固定待测衍射光学元件;所述检测部,用于接收衍射光束,以对所述待测衍射光学元件进行检测,其中,所述衍射光束为所述待测衍射光学元件对所述两束线偏振光进行衍射形成的光束。

  在本申请实施例中,衍射光学元件的检测系统中包括分束部,可以将接收的光源发射的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光,这样可以在衍射光学元件的检测系统进行DOE的性能测试时,根据待测衍射光学元件(即DOE)对两束线偏振光进行衍射形成的衍射光束,对DOE进行检测。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE,另一方面,无需将DOE放置两次,可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性,从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。

  结合第一方面,在第一方面的第一种可能的实现方式中,所述预设角度为90°。

  在该实现方式中,由于DOE的光栅结构具有各向异性的特点,意味着DOE的这种光栅结构会产生与光偏振方向相关的传输损耗。即DOE性能与入射光偏振方向和DOE光栅刻槽方向之间的夹角α密切相关,一般地,当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向平行即夹角α=0度时,DOE性能具有最好,转换效率最高,当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向垂直即夹角α=90度,DOE性能最差,转换效率最低。因此,将对DOE性能检测的预设角度设置为90°,则分束部可以将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光,这样可以尽可能保证检测的准确性和检测的有效性。

  结合第一方面的第一种可能的实现方式,在第一方面的第二种可能的实现方式中,所述分束部为1/4波片。

  在该实现方式中,使用1/4波片作为分束部,可以简单高效地将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光。

  结合第一方面的第一种可能的实现方式,在第一方面的第三种可能的实现方式中,所述分束部为偏振方向旋转器。

  在该实现方式中,使用偏振方向旋转器作为分束部,可以灵活地设置分束的角度(也能将预设角度设置为90°)。

  结合第一方面,在第一方面的第四种可能的实现方式中,所述检测部包括投射屏和接收装置,所述投射屏,用于接收所述衍射光束并成像;所述接收装置,用于获取所述投射屏上的衍射图像,并对所述衍射图像进行处理,以确定出所述待测衍射光学元件的检测结果。

  在该实现方式中,检测部包括投射屏和接收装置,接收装置可以获取投射屏上的衍射图像,并进行处理以确定出待测衍射光学元件的检测结果。这样可以准确地对待测衍射光学元件进行检测。

  结合第一方面,在第一方面的第五种可能的实现方式中,所述光源为准直的单点激光器。

  在该实现方式中,采用单点激光器作为光源,可以省去对传统光源进行准直的部分,有利于优化衍射光学元件的检测系统的结构。

  结合第一方面,在第一方面的第六种可能的实现方式中,所述衍射光学元件的检测系统还包括控制部,所述控制部分别与所述光源和所述检测部连接,用于控制所述光源发射线偏振光,以及,用于控制所述检测部采集所述衍射光束以对所述待测衍射光学元件进行检测。

  结合第一方面,或者结合第一方面的第一种至第六种中任一可能的实现方式,在第一方面的第七种可能的实现方式中,所述光源、所述分束部、所述固定部和所述检测部位于同一轴线上。

  在该实现方式中,光源、分束部、固定部和检测部位于同一轴线上,有利于保证检测的精准度。

  第二方面,本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测方法,应用于第一方面或第一方面的可能的实现方式中任一项所述的衍射光学元件的检测系统,所述方法包括:通过所述光源向所述分束部发射线偏振光;通过所述分束部将接收的所述线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光,并将两束线偏振光投射至经所述固定部固定的所述待测衍射光学元件;通过所述待测衍射光学元件对成预设角度的两束线偏振光进行衍射,并向所述检测部投射经衍射产生的衍射光束;通过所述检测部接收所述衍射光束以对所述待测衍射光学元件进行检测。

  结合第二方面,在第二方面的第一种可能的实现方式中,在所述检测部包括投射屏和接收装置时,通过所述检测部接收所述衍射光束以对所述待测衍射光学元件进行检测,包括:通过所述投射屏接收所述衍射光束并成像;通过所述接收装置获取所述投射屏上的衍射图像,并对所述衍射图像进行处理,以确定出所述待测衍射光学元件的检测结果。

  为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附附图,作详细说明如下。

  附图说明

  为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

  图1为本申请实施例提供的一种激光投射模组的结构示意图。

  图2为本申请实施例提供的分别在0°和90°时的衍射光斑图。

  图3为本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测系统的结构示意图。

  图4为本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测方法的流程图。

  图标:100-激光投射模组;101-VCSEL光源;102-准直镜;103-衍射光学元件;200-衍射光学元件的检测系统;210-光源;220-分束部;230-固定部;240-检测部;241-投射屏;242-接收装置。

  具体实施方式

  下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行描述。

  在对本申请实施例提供的衍射光学元件的检测系统进行说明前,此处先对其背景进行介绍,以便于对本方案的理解。

  衍射光学元件(即DOE)是一种发展迅猛的新型光学元件,可以应用于3D深度相机的激光投射模组中。请参阅图1,图1为本申请实施例提供的一种激光投射模组100的结构示意图。

  在本实施例中,激光投射模组100可以包括VCSEL光源101,准直镜102和衍射光学元件103。

  其中,VCSEL光源101,可以为由多个子光源组成的二维图案排列的二维VCSEL光源101,此处为方便描述,图1中仅在一维层面上示例性地给出了三个子光源,但不应视为对本申请的限定。VCSEL光源101相较于传统激光光源,具有体积小,发散角小等优点,但同时存在着出射激光的偏振方向不一致的特点,即每个发光点的出射光偏振方向并非一致的。因此,可以采用准直镜102进行准直。

  示例性的,准直镜102可以接收由VCSEL光源101发射的光束(偏振方向不一致),并对具有一定发散角的光束(即VCSEL光源101发射的光束)进行准直。

  示例性的,衍射光学元件103可以用于接收经准直镜102准直后的光束,通过光衍射的方式,向目标空间中投射衍射光束。此衍射光束是通过复制VCSEL光源101所形成的,例如,VCSEL光源101有100个子光源,衍射光学元件103的复制数为100,那么空间中就会形成10000个散斑点。

  而衍射光学元件103的衍射行为可以分为准静态区衍射(光栅常数d<λ/2)、共振区衍射(λ/2<d<10λ)、标量衍射区(d>10λ),其中,λ为光的波长。三种衍射行为的不同之处主要在于光波与衍射光学元件103相互作用的不同,相应的,衍射光学元件103衍射特性的研究理论也分为标量衍射理论和矢量衍射理论两大类。

  在结构光或者光TOF(Time Of Flight,飞行时间)应用领域中,衍射光学元件103的光栅周期d的大小通常与波长λ(λ=940nm)处于同一数量级。衍射光学元件103的光栅结构具有各向异性的特点,与晶体各向异性的特点非常类似,意味着衍射光学元件103的光栅结构会产生与光偏振方向相关的传输损耗。即衍射光学元件103的性能与入射光偏振方向和衍射光学元件103的光栅刻槽方向之间的夹角α密切相关。一般情况下,当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向平行(即α=0°)时,衍射光学元件103的性能最好,转换效率最高;当入射光的偏振方向与光栅刻槽方向垂直(即α=90°),衍射光学元件103的性能最差,转换效率最低。

  为了消除入射光偏振方向给衍射光学元件103的性能检测带来的误差,可以先对衍射光学元件103在α=0°的方向上进行检测,得到如图2中的A部分所示的衍射光斑图。而后,可以将衍射光学元件103逆时针旋转90°,此时α=90°,再对衍射光学元件103进行一次检测,得到如图2中的B部分的衍射光斑图。而后,可以将对应各个光斑的光强取平均值,得到检测结果。例如,图2的A部分和B部分中的黑点,表示同一衍射级的光斑点,将两张衍射图(A部分和B部分)中对应该点的光强取平均值,就可以得到该点对应的光强。

  但现有的检测方式,由于需要旋转衍射光学元件103并检测两次,一方面存在检测效率不高的问题;另一方面,在对衍射光学元件103进行旋转的过程中,容易损伤衍射光学元件103的微结构,从而产生额外的衍射光学元件103的损耗。

  基于上述问题,请参阅图3,本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测系统200,以安全高效地对衍射光学元件103进行检测。

  在本实施例中,衍射光学元件的检测系统200可以包括:光源210、分束部220、固定部230和检测部240。其中,光源210用于向分束部220发射线偏振光。而分束部220可以将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光。固定部230则用于固定待测衍射光学元件。而检测部240可以接收衍射光束,以对待测衍射光学元件进行检测,其中,衍射光束为待测衍射光学元件对两束线偏振光进行衍射形成的光束。

  为了保证检测的精准度,光源210、分束部220、固定部230和检测部240可以位于同一轴线上。当然,并不限定于此,例如,固定部230可以无需与光源210、分束部220和检测部240位于同一轴线,只需在对待测衍射光学元件进行检测时,设置在固定部230上的待测衍射光学元件与光源210、分束部220和检测部240位于同一轴线即可。

  示例性的,为了保证检测的准确性,光源210发射的线偏振光需要是准直的。因此,光源210可以为准直的单点激光器,采用单点激光器作为光源,可以省去对传统光源进行准直的部分,有利于优化衍射光学元件的检测系统的结构。

  当然,光源210也可以采用传统的光源(发射的光束偏振方向不一致),例如VCSEL光源,而为了得到准直的线偏振光,光源210还可以包括准直镜,用于对VCSEL光源发射的线偏振光进行准直。因此,此处不作限定,可以根据实际需要选用光源210的类型。另外,此处将VCSEL光源和准直镜划分到光源210这个部分的描述中,只是为了方便说明,在其他一些可实现的方式中,也可以将VCSEL光源和准直镜分别作为衍射光学元件的检测系统200中的各自独立的部分,此处不作限定。

  为了实现对衍射光学元件的安全高效的检测,示例性的,分束部220则可以用于将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光。分束部220将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光后,对待测衍射光学元件进行检测时,就可以在一次检测过程中,实现在不同方向上对待测衍射光学元件的检测,无需在检测过程层中移动或转动待测衍射光学元件。

  这样一方面可以提高对待测衍射光学元件的检测效率,另一方面,由于无需将待测衍射光学元件进行旋转,可以有效避免旋转过程中对待测衍射光学元件的微结构的损伤,从而尽可能减小对待测衍射光学元件造成损害的可能性,从而提升衍射光学元件的检测系统200在待测衍射光学元件的检测过程中的安全性。

  而为了保证对测衍射光学元件的检测的准确性,预设角度可以为90°(原理可参阅前文)。需要说明的是,此处的90°可以是在一定的误差范围内的,例如误差范围在0.1°内,但不应视为限定,可以根据实际需要设置误差范围。

  需要说明的是,此处预设角度选用90°,是基于目前较为有效的检测方式而确定的,在确定出其他角度也可以实现不错的检测效果时,也可以将预设角度设置为对应的角度,因此,此处不应视为对本申请限定。

  为了实现分束部220将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光,此处分束部220可以选用1/4波片。当然,在预设角度为其他角度时,可以选用实现该角度的玻片作为分束部220,此处不作限定。采用这种方式,可以简单高效地将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光。另外,选用1/4波片,结构和在衍射光学元件的检测系统200的设置方式简单,且成本较低。

  具体的,使用1/4波片进行分束时,首先可以使光源210发射的线偏振光垂直入射1/4波片,并且调整光的偏振方向和1/4波片的光轴面成45°角。此时线偏振光进入到1/4波片后会产生两束振幅相等、方向相互垂直的线偏振光,两束光振幅分别为I×cos45°和I×sin45°,其中I为入射光振幅,这两束振幅相等、方向相互垂直的线偏振光可以入射到待测衍射光学元件上,以使待测衍射光学元件形成衍射光束向外投射,以便检测部240接收衍射光束,实现对待测衍射光学元件的检测。

  另外,不同光波长的光源可以对应不同设计的1/4波片,这里1/4波片起的作用是:将入射光束分解为两束振幅相等,偏振方向相互垂直的线偏振光,即偏振方向分别沿0°方向和90°方向。这两束线偏振光经衍射后,检测部240检测的衍射光束(或衍射图象)的光强即等同于不加1/4波片时,将待测衍射光学元件分别沿为0°和90°测试时光束光强的平均值。

  示例性的,分束部220也可以选用偏振方向旋转器,实现将接收的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光。例如,使用偏振方向旋转器将接收的线偏振光分束为振幅相等且成90°的两束线偏振光。

  使用偏振方向旋转器作为分束部220,可以灵活地设置分束的角度。通常偏振方向旋转器可以将线性偏振入射光的偏振方向连续旋转至少180°,且不产生机械运动,可调整的范围非常灵活。在整个旋转范围内,偏振方向旋转器可以保证最小消光比大于1000:1。偏振方向旋转器的种类繁多(例如液晶偏振方向旋转器),通过偏振方向旋转器对入射光束进行偏振方向的控制,如在0°到180°内,以1°作为步长进行扫描,可以同时使用检测部240检测衍射光束(或衍射图象)以记录其光强的变化。通过记录的数据不仅可以得到0°和90°的光束光强的平均值,也可以取最大光强值和最小光强值计算出偏振相关损耗(Polarization Dependent Loss,PDL),这是用于描述待测衍射光学元件性能对于入射光束的偏振状态敏感程度的参量。

  在本实施例中,固定部230用于放置待测衍射光学元件,可以为夹持件、嵌合件等,以能够实现对待测衍射光学元件的固定即可,此处不作限定。

  在本实施例中,检测部240可以包括投射屏241和接收装置242,其中,投射屏241可以接收衍射光束并成像;而接收装置242可以用于获取投射屏241上的衍射图像,并对衍射图像进行处理,以确定出待测衍射光学元件的检测结果,实现对待测衍射光学元件的准确检测。其中,接收装置242可以包括图像传感器和图像处理设备,从而通过图像传感器获取投射屏241上的衍射图像,而图像处理设备即可根据衍射图像实现对待测衍射光学元件的检测。

  在本实施例中,为了实现衍射光学元件的检测系统200的高效运行,衍射光学元件的检测系统200还可以包括控制部。控制部可以分别与光源210和检测部240连接,用于控制光源210发射线偏振光,以及,用于控制检测部240采集衍射光束以对待测衍射光学元件进行检测。

  基于同一发明构思,本申请实施例还提供一种应用于衍射光学元件的检测系统的检测方法。

  请参阅图4,图4为本申请实施例提供的一种衍射光学元件的检测方法的流程图。在本实施例中,衍射光学元件的检测方法可以包括:步骤S10、步骤S20、步骤S30和步骤S40。

  为了实现对待测衍射光学元件的高效安全的检测,可以使用衍射光学元件的检测系统对待测衍射光学元件进行检测。

  示例性的,可以将待测衍射光学元件放置在固定部上的相应位置,并对衍射光学元件的检测系统的标定。例如,设置好衍射光学元件的检测系统中各部件的参数和部件间的距离,以产生清晰、锐利的成像为准。

  对衍射光学元件的检测系统标定后,检测系统可以执行步骤S10。

  步骤S10:通过所述光源向所述分束部发射线偏振光。

  示例性的,检测系统可以控制光源发射线偏振光,例如,在光源采用VCSEL光源和准直镜以得到准直的线偏振光时,可以控制光源发射预设的线偏振光,经过准直镜准直后,向分束部发射准直的线偏振光。

  在向分束部发射线偏振光后,检测系统可以执行步骤S20。

  步骤S20:通过所述分束部将接收的所述线偏振光分束为振幅相等且呈预设角度的两束线偏振光,并将两束线偏振光投射至经所述固定部固定的所述待测衍射光学元件。

  示例性的,检测系统可以通过分束部将接收的准直的线偏振光分束为振幅相等且呈预设角度(例如90°)的两束线偏振光,并将两束线偏振光投射至经固定部固定的待测衍射光学元件。

  在将两束线偏振光投射至经固定部固定的待测衍射光学元件后,检测系统可以执行步骤S30。

  步骤S30:通过所述待测衍射光学元件对呈预设角度的两束线偏振光进行衍射,并向所述检测部投射经衍射产生的衍射光束。

  示例性的,检测系统可以通过待测衍射光学元件对呈预设角度(例如90°)的两束线偏振光进行衍射,并向检测部投射经衍射产生的衍射光束。

  在向检测部投射经衍射产生的衍射光束后,检测系统可以执行步骤S40。

  步骤S40:通过所述检测部接收所述衍射光束以对所述待测衍射光学元件进行检测。

  示例性的,检测系统可以通过检测部接收衍射光束,以对待测衍射光学元件进行检测。

  具体的,检测系统可以通过检测部的投射屏接收衍射光束并成像,并通过接收装置获取投射屏上的衍射图像,并对衍射图像进行处理,以确定出待测衍射光学元件的检测结果。例如,通过检测部中接收装置的图像处理设备从图像传感器获取衍射图像(图像传感器则检测投射屏上的衍射图像),之后对衍射图像进行处理和计算以检测待测衍射光学元件的性能。

  需要说明的是,通过本申请实施例提供的衍射光学元件的检测方法,可以实现对待测衍射光学元件的多种光学性能的检测。

  示例性的,可以实现对待测衍射光学元件的斑点数量的检测:对于应用在结构光深度相机中的DOE(衍射光学元件),其主要功能是作为光分束器,形成的是多个光斑点组成的光斑阵列图像。DOE设计的好坏将直接影响分束的斑点数量,以及抑制级数的衍射效果。可以先采集全场衍射图像,其次对全场衍射图像进行各个光斑提取并统计斑点数量,以斑点数量作为结果输出。若斑点数量与预设的斑点数量不匹配(例如斑点的数量达不到要求),则确定该DOE未达到其相关指标。

  示例性的,可以实现对待测衍射光学元件的衍射效率的检测:衍射效率是指由DOE出射后的衍射光束总强度与入射到DOE上的入射光束强度的比值,反映的是DOE的衍射效果。衍射效率越高,生成相同强度的衍射光束图案对光源的功耗要求将越低。

  由于DOE的衍射效果通常难以直接通过对衍射光束总强度进行定量的测量。因此,本方案中可以采用间接的方法计算衍射效率,例如通过对获取的全场衍射图像进行像素值的提取来实现。具体的,可以根据预设的像素值的阈值,对全场衍射图像的各级光斑图像中大小在该阈值以上的像素值进行提取,然后将全场衍射图象的各级光斑图像的灰度值之和与全场图像的总灰度值的比值作为衍射效率,实现对衍射效率的间接检测。

  示例性的,可以实现对待测衍射光学元件的零级大小的检测:零级大小可以表示零级的光斑能量与相邻一级的光斑能量的比值。此处同样可以采用间接检测的方式检测零级均匀性(即零级大小),例如,可以根据获取的全场衍射图像,结合预设的像素阈值,分别对零级光斑和各个相邻一级的光斑对应的像素值中超过预设的像素阈值的像素值进行提取,而被提取的零级光斑的灰度值总和与相邻一级的光斑的灰度平均值的比值,即可作为零级大小。

  示例性的,也可以实现对待测衍射光学元件的全局均匀性的检测:全局均匀性用于衡量全场衍射图像中各衍射级的光强均匀性。此处同样可以采用间接检测的方式检测全局均匀性。具体的,可以根据预设的灰度阈值,将全场衍射图像中各级光斑像素的灰度值大于预设的灰度阈值的像素值进行提取,其中,最大值(Imax)和最小值(Imin)的差比上最大值和最小值之和,即为全局均匀性:

  

  其中,uniformity表示待测衍射光学元件的全局均匀性。

  示例性的,还可以实现对待测衍射光学元件的偏振相关损耗的检测。偏振相关损耗是一种与光的偏振状态有关的光器件的传输损耗现象,是光器件或系统在所有偏振状态下的最大传输差值,其定义公式如下:

  

  其中,Tmax表示所有偏振态下的最大光强,Tmin表示所有偏振态下的最小光强。

  当然,通过本申请实施例提供的衍射光学元件的检测系统和检测方法,还可以对待测衍射光学元件的其他一些光学性能进行检测此处不再一一赘述,但这些不应视为对本申请的限定。

  综上所述,本申请实施例提供一种衍射光学元件的检测系统及方法,衍射光学元件的检测系统中包括分束部,可以将接收的光源发射的线偏振光分束为振幅相等且成预设角度的两束线偏振光,这样可以在衍射光学元件的检测系统进行DOE的性能测试时,根据待测衍射光学元件(即DOE)对两束线偏振光进行衍射形成的衍射光束,对DOE进行检测。这样就无需为实现在两个方向上对DOE的检测的过程中旋转或移动DOE,一方面可以提高对DOE的检测效率,另一方面,无需将DOE放置两次,可以尽可能减小对DOE造成损害的可能性,从而提升衍射光学元件的检测系统在DOE的检测过程中的安全性。

  在本申请所提供的实施例中,应该理解到,所揭露的系统和方法,可以通过其它的方式实现。以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的,例如,所述部件的划分,仅仅为一种示例性的划分,实际实现时可以有另外的划分方式。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。

  另外,分别说明的部件可以是或者也可以不是物理上分开的,显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部部件来实现本实施例方案的目的。

  在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

  以上所述仅为本申请的实施例而已,并不用于限制本申请的保护范围,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

《衍射光学元件的检测系统及方法.doc》
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