有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统
技术领域
本实用新型有关于一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，尤指一种用来将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉的加热室的蓄热气提供给该加热器来使用，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
背景技术
目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发性有机气体(VOC)，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC)的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气污染。而目前通过该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。
因此，本实用新型人有鉴于上述缺失，以期能提出一种具有提升有机废气处理效率的有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，令用户可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利，为本实用新型人所欲研发的实用新型动机。
实用新型内容
本实用新型的主要目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，主要将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，另该蓄热燃烧炉的排气通过该回收热交换器来进行热交换，并于进行热交换后再输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉的加热室的蓄热气提供给该加热器来使用，进而增加整体的实用性。
本实用新型的另一目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，通过该加热器可以连接一热气输出管路，且该热气输出管路的另一端与该回流热气回收管路连接，让通过该热气输出管路所输送的热气传输到该回流热气回收管路内，再输送到回流热交换器内，另外，该加热器也可以连接一热气排放管路，且该热气排放管路的另一端连接至一烟囱，使通过该热气排放管路所输送的热气传输到该烟囱来进行排放，进而增加整体的使用性。
本实用新型的再一目的，在于提供一种有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，其中当该蓄热燃烧炉设为三塔式蓄热燃烧炉或是旋转式蓄热燃烧炉时，设有至少一扫气(purge)管路，该扫气(purge)管路的另一端供新鲜空气进入，或是与该加热器所连接的热气回收管路的另一端连接，使通过该热气回收管路所输送的热气传输到该扫气(purge)管路内，再通过该扫气(purge)管路来回到该三塔式蓄热燃烧炉或是旋转式蓄热燃烧炉内进行燃烧，进而增加整体的操作性。
为了能够更进一步了解本实用新型的特征、特点和技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，所附附图仅提供参考与说明用，非用以限制本实用新型。
附图说明
图1为本实用新型的二塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输出管路连接架构示意图；
图2为本实用新型的二塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气排放管路连接架构示意图；
图3为本实用新型的二塔式蓄热燃烧炉的另一实施方式的架构示意图；
图4为本实用新型的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输出管路连接架构示意图；
图5为本实用新型的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气排放管路连接架构示意图；
图6为本实用新型的三塔式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输送管路连接架构示意图；
图7为本实用新型的旋转式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输出管路连接架构示意图；
图8为本实用新型的旋转式蓄热燃烧炉的加热器的该热气排放管路连接架构示意图；
图9为本实用新型的旋转式蓄热燃烧炉的加热器的该热气输送管路连接架构示意图。
附图标记说明：
A、一侧B、另一侧
10、蓄热燃烧炉 101、蓄热床
11、加热室 111、热气出口
12、进气管路 13、出气管路
14、扫气(Purge)管路20、吸附转轮
201、吸附区202、冷却区
203、脱附区21、废气进气管路
22、净气排放管路 221、风车
222、净气旁通管路2221、净气旁通控制阀门
23、冷却气进气管路 231、气体旁通管路
24、冷却气输送管路 241、冷却气控制阀门
25、热气输送管路 251、热气控制阀门
26、脱附浓缩废气管路 261、风车
27、连通管路 271、连通控制阀门
30、加热器 31、蓄热气体回收管路
321、热气输出管路322、热气排放管路
323、热气输送管路40、回流热交换器
401、回流冷侧管路402、回流热侧管路
41、回流热气回收管路 42、回流回收管路
421、风车60、除尘设备
70、烟囱 71、烟囱排放管路
711、风车
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。
请参阅图1至图9，为本实用新型实施例的示意图。而本实用新型的有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统的最佳实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是用来将蓄热气通过不同路径来进行回收或排放，使有机废气的处理效率提升，同时，蓄热燃烧炉10的加热室11的蓄热气提供给该加热器30来使用。
而本实用新型的主要实施方式的有机废气浓缩蓄热燃烧回流系统，主要设有一蓄热燃烧炉(RTO)10、一吸附转轮20、一加热器30及一回流热交换器40(如图1至图9所示)，其中该加热器30连接有一蓄热气体回收管路31，该回流热交换器40设有回流冷侧管路401及回流热侧管路402，该回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，另该蓄热燃烧炉(RTO)10内设有蓄热床101，并通过该蓄热床101来进行蓄、放热使用，以回收高温排气的热能，来供预热低温进气使用，且该蓄热燃烧炉(RTO)10设有一加热室11、至少一进气管路12及至少一出气管路13，该加热室11设有一热气出口111。另该蓄热燃烧炉(RTO)10的加热室11组设有一燃烧机(如图1至图9所示)，而该燃烧机通过燃料气体或是燃料液体来进行燃烧，并将燃烧时的热气传递给蓄热燃烧炉(RTO)10的加热室11使用，再者，该燃烧机设有一空气管路，且该空气管路设有一风机，通过该风机以将该空气管路内的空气推送至该燃烧机内以帮助燃烧温度提高。
而该吸附转轮20为沸石浓缩转轮或是其他材质的浓缩转轮，且该吸附转轮20内设有吸附区201、冷却区202及脱附区203，该吸附转轮20设有一废气进气管路21、一净气排放管路22、一冷却气进气管路23、一冷却气输送管路24、一热气输送管路25及一脱附浓缩废气管路26(如图1至图9所示)，而该废气进气管路21的另一端连接至该吸附转轮20的吸附区201的一侧A，以使该吸附转轮20的吸附区201吸附该废气进气管路21内的废气，且该净气排放管路22的一端与该吸附转轮20的吸附区201的另一侧B连接，让该废气经该吸附转轮20的吸附区201净化后再由该净气排放管路22来输送。
另外，该冷却气进气管路23的一端与该吸附转轮20的冷却区202的一侧A连接，而该冷却气进气管路23有两种实施形式，其中第一种实施形式为该冷却气进气管路23乃是供外气进入(如图1及图2所示)，而该外气为新鲜空气，以将该外气用来输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用，另外，第二种实施形式该冷却气进气管路23设有一气体旁通管路231(如图3所示)，该气体旁通管路231的一端与该冷却气进气管路23连接，而该气体旁通管路231的另一端与该废气进气管路21连接，通过该气体旁通管路231来将部份的废气输送到该吸附转轮20的冷却区202内提供降温使用。
另外，该冷却气输送管路24的一端与该吸附转轮20的冷却区202的另一侧B连接，而该冷却气输送管路24的另一端与该加热器30连接(如图1至图9所示)，以将该冷却气输送管路24内的冷却气输送到该加热器30内使用，其中该加热器30为空气对空气热交换器、液体对空气热交换器、电加热器、瓦斯加热器的其中任一种，另该热气输送管路25的一端与该吸附转轮20的脱附区203的另一侧B连接，而该热气输送管路25的另一端与该加热器30连接，且该吸附转轮20的脱附区203的一侧A与该脱附浓缩气体管路26的一端连接，使将通过该加热器30所提升的热气通过该热气输送管路25来传输到该吸附转轮20的脱附区203来进行脱附使用，并将经过高温所脱附下来的脱附浓缩气体通过该脱附浓缩气体管路26来传输运送，且该脱附浓缩气体管路26的另一端与该蓄热燃烧炉10的至少一进气管路12连接，让该脱附浓缩气体进入该蓄热燃烧炉10来进行热氧化破坏。另该脱附浓缩气体管路26设有一风车261(如图3所示)，以将该脱附浓缩气体管路26内的脱附浓缩气体进行抽送。
另外，该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有比例风门(如图2及图3所示)，而该比例风门设有两种实施设计，其中第一种实施设计乃为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该热气输送管路25设有一热气控制阀门251(如图2所示)，并通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门251来形成比例风门，另外，第二实施设计乃为该冷却气输送管路24与该热气输送管路25之间设有一连通管路27，且该连通管路27设有一连通控制阀门271，而该冷却气输送管路24设有一冷却气控制阀门241(如图3所示)，并通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241来形成比例风门，因此，不管是通过该连通控制阀门271及该热气控制阀门25的设计的比例风门或是通过该连通控制阀门271及该冷却气控制阀门241的设计的比例风门，皆能调整控制风力的大小，让该热气输送管路25内的温度保持一定高温来提供给该吸附转轮20的脱附区203使用。
另外，该加热器30连接有一蓄热气体回收管路31，该蓄热气体回收管路31的另一端与该蓄热燃烧炉10的加热室11的热气出口111连接(如第1图至第9图所示)，因此，使该蓄热燃烧炉10的加热室11内的蓄热气通过该热气出口111来进入该蓄热气体回收管路31，再通过该蓄热气体回收管路31来将蓄热气输送至该加热器30内进行使用。
另外，该回流热交换器40连接有一回流热气回收管路41及一回流回收管路42，该回流热交换器40的回流冷侧管路401的一端与该净气排放管路22的另一端连接，该回流热气回收管路41的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的一端连接，该回流热气回收管路41的另一端与该蓄热燃烧炉10的出气管路13连接，该回流回收管路42的一端与该回流热交换器40的回流热侧管路402的另一端连接，该回流回收管路42的另一端与该废气进气管路21连接(如图1至图9所示)。再者，该回流热交换器40的回流热气回收管路41及该回流回收管路42可以同时各设有一除尘设备60来使用(如图6所示)，或是只于该回流热交换器40的回流回收管路42上来单独设有一除尘设备60来使用(如图5所示)，或是只于该回流热交换器40的回流热气回收管路41上来单独设有一除尘设备60来使用(如图3所示)，让经过该回流热气回收管路41内的气体或是经过该回流回收管路42的气体可以通过该除尘设备60进行过滤，其中该除尘设备60为袋式除尘器、电袋式复合除尘器、惯性除尘器、静电除尘器、离心式除尘器、滤筒式脉冲除尘器、脉冲袋式除尘器、脉冲滤芯除尘器、脉冲喷吹袋式除尘器、湿式除尘器、湿式电除尘器、湿式静电除尘器、水膜除尘器、文丘里管除尘器、旋风分离器、烟道除尘器、多层除尘器、负压反吹滤袋除尘器、低压长袋脉冲除尘器、卧式静电除尘器、无动力除尘器、荷电水雾除尘器、多管旋风除尘器、防爆除尘器的其中任一，且该回流热交换器40的回流回收管路42设有一风车421(如图3所示)，以将该回流回收管路42内的气体推向该废气进气管路21内。因此，将经过该蓄热燃烧炉10所燃烧后的气体由该回流热气回收管路41来输送到该回流热交换器40的回流热侧管路402进行热交换，再通过该回流回收管路42来输送到该除尘设备60内以进行粉尘或二氧化硅(SiO2)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备60所输出的气体输送到该废气进气管路21内，使燃烧后的气体进入该吸附转轮20的吸附区201循环利用，而不经过该烟囱70来进行排放，让该烟囱70的排放量降低，并使有机废气的处理效率提升。
而该回流热交换器40连接一烟囱70，该烟囱70设有一烟囱排放管路71(如图1至图3所示)，该烟囱排放管路71的一端与该烟囱70连接，该烟囱排放管路71的另一端与该回流热交换器40的回流冷侧管路401的另一端连接，让通过该净气排放管路22所排出净化后气体进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401内进行热交换，再通过该烟囱排放管路71来输送到烟囱70来进行排放，且该烟囱排放管路71设有一风车711(如图3所示)，以将该烟囱排放管路71内的气体推向该烟囱70内。另外，该净气排放管路22设有一风车221(如图2及图3所示)，以将该净气排放管路22内的气体推向该回流热交换器40的回流冷侧管路401内。而上述的净气排放管路22旁设有一净气旁通管路222(如图2及图3所示)，而该净气旁通管路222的一端与该净气排放管路22连接，且该净气旁通管路222的另一端与该烟囱排放管路71连接，让该净气排放管路22在输送所排出净化后气体时，除了进入该回流热交换器40的回流冷侧管路401进行热交换外，还通过与该净气排放管路22所连接的该净气旁通管路222来进行旁通分流，使部分的净化后气体直接流到该烟囱排放管路71再通过该烟囱70进行排放。另外，该净气旁通管路222设有一净气旁通控制阀门2221(如图3所示)，以通过该净气旁通控制阀门2221来调节由该净气排放管路22所输送过来的净化后气体的风量，以形成调节控制的效能。
而上述的蓄热燃烧炉10设为二塔式蓄热燃烧炉(如图1至图3所示)、三塔式蓄热燃烧炉(如图4至图6所示)或旋转式蓄热燃烧炉(如图7至图9所示)的其中任一，而该加热器30设有三种连接路径，其中该第一种路径当该蓄热燃烧炉10为二塔式蓄热燃烧炉、三塔式蓄热燃烧炉或旋转式蓄热燃烧炉时，该加热器30连接一热气输出管路321(如图1、图4及图7所示)，该热气输出管路321的另一端与该回流热气回收管路41连接，让由该热气出口111所输出的蓄热气通过该蓄热气体回收管路31来输送到该加热器30内进行使用，再通过该热气输送管路321来输送到该回流热气回收管路41内，使该蓄热气进入该回流热气回收管路41内并输送到该回流热交换器40内，使具有再循环利用的效能。
而第二种路径当该蓄热燃烧炉10为二塔式蓄热燃烧炉、三塔式蓄热燃烧炉或旋转式蓄热燃烧炉时，该加热器30连接一热气排放管路322(如图2、图5及图8所示)，该热气排放管路322的另一端连接至一烟囱70，让由该热气出口111所输出的蓄热气通过该蓄热气体回收管路31来输送到该加热器30内进行使用，再通过该热气排放管路322来输送到烟囱70来进行排放，使该蓄热气通过该烟囱70来将蓄热气进行排放至大气中。
另外，第三种路径当该蓄热燃烧炉10为三塔式蓄热燃烧炉或旋转式蓄热燃烧炉时，都设有至少一扫气(purge)管路14，该加热器30连接一热气输送管路323(如第6图及第9图所示)，该热气输送管路323的另一端与该扫气(purge)管路14的另一端连接，让由该热气出口111所输出的蓄热气通过该蓄热气体回收管路31来输送到该加热器30内进行使用，再通过该热气输送管路323来输送到该扫气(purge)管路14内，使该蓄热气通过该扫气(purge)管路14来再入该蓄热燃烧炉10内进行燃烧，使具有再循环利用的效能。
再者，当第1种路径与第2种路径时，该蓄热燃烧炉10为三塔式蓄热燃烧炉或旋转式蓄热燃烧炉时，其该蓄热燃烧炉10设有至少一扫气(purge)管路14，而该扫气(purge)管路14的另一端供新鲜空气进入(如图4、图5、图7及图8所示)，让该扫气(purge)管路14由外部来送入新鲜空气。
通过以上详细说明，可本领域技术人员明了本实用新型的确可达成前述目的，实已符合专利法的规定，故提出专利申请。
以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
