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纯化器连接结构

2021-02-12 08:05:21

纯化器连接结构

  技术领域

  本实用新型涉及半导体制造领域,特别是涉及一种用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构。

  背景技术

  纯化器利用物理或化学的方法除去气体中杂质的设备,纯化器是半导体生产工艺中常用的设备,半导体生产中的重要设备之一。纯化设备使用一段时间后会出现杂质,存在更换纯化器的需求,并且更换纯化器后还需要对设备进行测漏才能再次进行生产。现有锗硅外延设备纯化器柜在自动化功能上只具备自动吹扫功能,并且现有设备的连接结构不适用于纯化器纯化更换及纯化器纯化更换后的测漏,需要操作的阀门众多,程序繁琐,不利于操作。

  并且,气体纯化器工作温度在首次通入特气时因化学反应放热严重,如过热不仅会烧毁纯化器,还会污染管路造成严重经济损失。人工进行纯化器纯化需操作开关阀门50次以上,并随时注意纯化器表面温度,未及时关闭进气阀门,容易操作失误损毁设备。

  实用新型内容

  本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于锗硅外延设备纯化器柜内,便于进行纯化器更换及纯化器更换后管路测漏的纯化器连接结构。

  本实用新型还提供了一种用于锗硅外延设备纯化器柜内能够监测纯化器温度避免误操作的纯化器连接结构。

  为解决上述技术问题,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构,包括:

  第一气路,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,第一阀M1、第三阀M3、第七阀M4、第十三阀M5、第十七阀M6、第二十阀M7、第二十一阀M8和第二十六阀M2是手动阀,其余各阀为气动阀。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,还包括:第一逻辑电路,其分别连接第一阀M1、第二阀AV1、第三阀M3、第四阀AV4、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第三阀M3、第四阀AV4、第六阀AV7、第七阀M4和第八阀AV2关闭,使第一阀M1、第二阀AV1、第五阀AV3、第九阀AV5、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2开启。上述第一逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第二纯化器。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,还包括:第二逻辑电路,其分别连接第一阀M1、第二阀AV1、第十三阀M5、第十四阀AV13、第十五阀AV12、第十六阀AV14、第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17、第二十四阀AV18和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第十三阀M5、第十四阀AV13、第十六阀AV14、第十七阀M6和第十八阀AV11关闭,使第一阀M1、第二阀AV1、第十五阀AV12、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17、第二十四阀AV18和第二十六阀M2开启。

  上述第二逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第三纯化器。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,还包括:第三逻辑电路,其分别连接第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7第七阀M4和第八阀AV2关闭,使第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2开启。上述第三逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第二纯化器后对管路进行测漏。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,还包括:第四逻辑电路,其分别连接第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7第七阀M4、第八阀AV2、第十一阀AV8和第十二阀AV9关闭,使第十阀AV6和第二十六阀M2开启。

  上述第四逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第三纯化器后对管路进行测漏。

  可选择的,进一步改进所述的纯化器连接结构,还包括:

  第一~第三贴片式热电偶,其分别粘帖在第一~第三纯化器表面,其分别连接第五~第七逻辑电路;

  第五逻辑电路,其连接第一阀M1,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第一阀M1;

  第六逻辑电路,其连接第七阀M4,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第七阀M4;

  第七逻辑电路,其连接第十七阀M6,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第十七阀M6。

  在第一~第三纯化器表面粘帖第一~第三贴片式热电偶实现对第一~第三纯化器温度的检测,一旦温度高于贴片式热电偶的温度阈值,则贴片式热电偶触发其各自对应的逻辑电路控制各纯化器对应的进气阀关闭,避免损坏纯化器。

  本实用新型提供的纯化器连接结构,能简化纯化器更换所需要的操作步骤,减少阀体开关所需要的人工(减少人员在阀体间非必要的往复移动),并且通过阀体开关状态的配合,本实用新型提供的纯化器连接结构能够实现纯化器更换后的管路测漏。在纯化器粘帖贴片式热电偶增加了对纯化器温度的检测,配合逻辑电路实现对各纯化器对应的进气阀关闭,能避免损坏纯化器。并且,在所有阀体均采用电控阀的情况下,能够进一步减少上述纯化器更换、测漏和纯化器温度检测的人为工作量,通过逻辑电路能够实现纯化器更换、测漏和纯化器温度检测一键执行,通过逻辑电路发出电信号实现各阀体的开关状态控制可避免因人为纯化操作潜在错误,大大提供生产效率。

  附图说明

  下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:

  图1本实用新型的整体结构示意图。

  附图标记说明

  第一阀M1

  第二阀AV1

  第三阀M3

  第四阀AV4

  第五阀AV3

  第六阀AV7

  第七阀M4

  第八阀AV2

  第九阀AV5

  第十阀AV6

  第十一阀AV8

  第十二阀AV9

  第十三阀M5

  第十四阀AV13

  第十五阀AV12

  第十六阀AV14

  第十七阀M6

  第十八阀AV11

  第十九阀AV15

  第二十阀M7

  第二十一阀M8

  第二十二阀AV16

  第二十三阀AV17

  第二十四阀AV18

  第二十五阀AV10

  第二十六阀M2

  第一~第三纯化器PF1~PF3

  A、B、C、D是不同的气路节点

  放气阀Bleeding Valvo

  文丘里管V

  第一气路~第十一气路1~11

  第一~第四进气口IN1~IN4

  第一~第三出气口OUT1~OUT3。

  具体实施方式

  以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所公开的内容充分地了解本发明的其他优点与技术效果。本发明还可以通过不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点加以应用,在没有背离发明总的设计思路下进行各种修饰或改变。需说明的是,在不冲突的情况下,以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

  如图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第一实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  第一阀M1、第三阀M3、第七阀M4、第十三阀M5、第十七阀M6、第二十阀M7、第二十一阀M8和第二十六阀M2是手动阀,其余各阀为气动阀。

  本实用新型提供的第一实施例,通过在第一~第三纯化器PF1~PF3设置相应的手动阀或启动阀,通过各阀不同的开启/关闭状态,能实现第一~第三纯化器PF1~PF3纯化更换时减少人工操作(减少人员在阀体间非必要的往复移动),能实现第一~第三纯化器PF1~PF3纯化更换后的管路测漏。采用本实用新型第一实施例用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构能提高生产效率,避免人工的不必要浪费。

  继续参考图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第二实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  本第二实施例中,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  第一逻辑电路(图中未显示),其分别连接第一阀M1、第二阀AV1、第三阀M3、第四阀AV4、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第三阀M3、第四阀AV4、第六阀AV7、第七阀M4和第八阀AV2关闭,使第一阀M1、第二阀AV1、第五阀AV3、第九阀AV5、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2开启。上述第一逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第二纯化器。

  继续参考图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第三实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  本第三实施例中,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  第二逻辑电路(图中未显示),其分别连接第一阀M1、第二阀AV1、第十三阀M5、第十四阀AV13、第十五阀AV12、第十六阀AV14、第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17、第二十四阀AV18和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第十三阀M5、第十四阀AV13、第十六阀AV14、第十七阀M6和第十八阀AV11关闭,使第一阀M1、第二阀AV1、第十五阀AV12、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17、第二十四阀AV18和第二十六阀M2开启。

  上述第二逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第三纯化器。

  继续参考图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第四实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  本第四实施例中,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  第三逻辑电路(图中未显示),其分别连接第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7第七阀M4和第八阀AV2关闭,使第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2开启。上述第三逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第二纯化器后对管路进行测漏。

  继续参考图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第五实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  本第五实施例中,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  第四逻辑电路(图中未显示),其分别连接第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7、第七阀M4、第八阀AV2、第十阀AV6、第十一阀AV8、第十二阀AV9和第二十六阀M2;

  其适用于发出电信号使第二阀AV1、第五阀AV3、第六阀AV7第七阀M4、第八阀AV2、第十一阀AV8和第十二阀AV9关闭,使第十阀AV6和第二十六阀M2开启。

  上述第四逻辑电路控制各阀开关状态适用于更换第三纯化器后对管路进行测漏。

  继续参考图1所示,本实用新型提供用于锗硅外延设备纯化器柜内的纯化器连接结构第六实施例,包括:

  第一气路1,其第一端连接第一进气口IN1,第一进气口IN1后顺序连接有第一阀M1、第一纯化器PF1、放气阀和第二阀AV1,其第二端连接第一气路节点A;

  第二气路2,其第一端连接第一出气口OUT1,第一出气口OUT1后顺序连接有第三阀M3和第四阀AV4,其第二端连接第二气路节点B;

  第三气路3,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第五阀AV3和第六阀AV7,其第二端连接第二气路节点B;

  第四气路4,其第一端连接第二进气口IN2,第二进气口IN2后顺序连接有第七阀M4、第八阀AV2、第九阀AV5、第二纯化器PF2、第十阀AV6、第十一阀AV8和第十二阀AV9,其第二端连接第一气路节点A;其中,第十阀AV6和第十一阀AV8之间的气路还连接第二气路节点B;

  第五气路5,其第一端连接第二出气口OUT2,第二出气口OUT2后顺序连接有第十三阀M5和第十四阀AV13,其第二端连接第四气路节点D;

  第六气路6,其第一端连接第三气路节点C,其第一端后顺序连接有第十五阀AV12和第十六阀AV14,其第二端连接第四气路节点D;

  第七气路7,其第一端连接第三进气口IN3,第三进气口IN3后顺序连接有第十七阀M6、第十八阀AV11、第十九阀AV15、第二十阀M7、第二十一阀M8、第二十二阀AV16、第二十三阀AV17和第二十四阀AV18,其第二端连接第一气路节点A;其中,第二十二阀AV16和第二十三阀AV17之间的气路还连接第四气路节点D;

  第八气路8,其第一端连接在第五阀AV3和第六阀AV7之间,其第二端连接在第八阀AV2和第九阀AV5之间;

  第九气路9,其第一端连接在第十五阀AV12和第十六阀AV14之间的第六气路上,其第二端连接在第十八阀AV11和第十九阀AV15之间的第八气路上;

  第十气路10,其上设有第二十五阀AV10,其第一端和第二端连接第一气路节点A;

  第十一气路11,其第一端连接第三出气口OUT3,第三出气口OUT3后顺序连接第二十六阀M2和文丘里管(V),其第一端连接第四进气口IN4。

  其中,第一进气口输入N2,第一出气口输出H2,第二进气口输入H2,第二出气口输出SiH4,第三进气口输入SiH4,第三出气口输出N2、H2或SiH4,第四进气口输入N2。

  本第六实施例中,第一阀M1~第二十六阀M2采用电控阀。

  第一~第三贴片式热电偶(图中未显示),其分别粘帖在第一~第三纯化器表面,其分别连接第五~第七逻辑电路;

  第五逻辑电路(图中未显示),其连接第一阀M1,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第一阀M1;

  第六逻辑电路(图中未显示),其连接第七阀M4,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第七阀M4;

  第七逻辑电路(图中未显示),其连接第十七阀M6,其适用于贴片式热电偶达到温度阈值时,第五逻辑电路发出电信号关闭第十七阀M6。

  在第一~第三纯化器表面粘帖第一~第三贴片式热电偶实现对第一~第三纯化器温度的检测,一旦温度高于贴片式热电偶的温度阈值,则贴片式热电偶触发其各自对应的逻辑电路控制各纯化器对应的进气阀关闭,避免损坏纯化器。

  以上通过具体实施方式和实施例对本实用新型进行了详细的说明,但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下,本领域的技术人员还可做出许多变形和改进,这些也应视为本实用新型的保护范围。

《纯化器连接结构.doc》
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