一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置
技术领域
本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，尤其适合作为固体MO源的封装容器。
背景技术
MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。
固体MO源钢瓶由于随着MO源存量越少而导致MO源蒸汽压越来越小，而无法达到MO源供给饱和度，最终造成现有技术中固体MO源钢瓶会造成一定MO源的剩余，导致MO源的利用率较低。
与本申请技术目的最为接近的现有技术是公开号为CN108998775A的固体金属有机化合物的封装容器，封装容器包含一瓶体，用于容纳固体金属有机化合物。瓶体内具有分隔部，将瓶体内分隔为第一空间及第二空间。分隔部中具有连接第一空间与第二空间的气体通路。其中，进气管连接一载气源，且设置于瓶体上，由第一空间的顶侧连通至第一空间；出气管连接一金属有机化学气相沉积设备，且设置于瓶体上，并穿过第二空间的邻近第一空间的底侧连通第一空间。该专利通过上述结构配置，提高固体金属有机化合物的使用效率，并减少固体金属有机化合物剩余的浪费；然而，该技术需要在每个钢瓶的上端部设置多个MO充装口分别用于其内部分隔空间的MO源充装，同时需要在钢瓶的上端部分别设置进气管和出气管，这导致了钢瓶的安装难度，也无法在小体积的MO源钢瓶产品中应用。
因此，本申请希望通过对MO源钢瓶自身结构进行创造性设计来解决上述技术问题。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，通过简单且紧凑的多联钢瓶结构设计，可以同时实现优异MO源供给饱和度和均匀度效果，最终实现更高的MO源供给效率。
本实用新型采用的技术方案如下：
一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，至少包括气体连通且呈并行排列的初级MO源钢瓶和终级MO源钢瓶；
所述初级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的初级钢瓶本体，所述初级钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口，同时其底部设有初级MO源出气管，所述惰性气体进气管、MO源充装口和初级MO源出气管分别与MO源封装空间连通，且所述MO源充装口中心线和初级MO源出气管中心线均与所述初级钢瓶本体中心线重合；
所述终级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的终级钢瓶本体，所述终级钢瓶本体底部设有MO源进气管，同时其上端分别设有终极MO源出气管和MO源充装口，所述MO源进气管、终极MO源出气管和MO源充装口分别与MO源封装空间连通，且所述MO源进气管中心线和MO源充装口中心线均与所述终级钢瓶本体中心线重合；
其中，所述终级钢瓶本体的MO源封装空间小于所述初级钢瓶本体的MO源封装空间，且所述初级MO源出气管通过与其垂直的连接管道与所述MO源进气管连接。
优选地，所述惰性气体进气管和终极MO源出气管上分别安装有惰性气体控制开关阀和MO源控制开关阀。
优选地，所述连接管道上安装有用于控制供给压力的管道开关控制阀。
优选地，所述初级钢瓶本体的MO源封装空间的体积为200-500mL，所述终级钢瓶本体的MO源封装空间的体积为150-400mL。
优选地，所述初级钢瓶本体的MO源封装空间的体积与所述终级钢瓶本体的MO源封装空间的体积之前的差值不小于50mL。
本实用新型创造性提出采用至少包括相互气体连通的初级MO源钢瓶和终级MO源钢瓶组成高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，同时终级MO源钢瓶的MO源封装空间小于初级MO源钢瓶的MO源封装空间，在进行实际工作时，初级MO源钢瓶和终级MO源钢瓶中存储封装有固体MO源，初级MO源钢瓶通过位于上端部的惰性气体进气管注入具有气体压力，同时通过位于钢瓶底部的初级MO源出气管输出MO源气体(混合有惰性气体)，通过垂直连接的连接管道注入终级MO源钢瓶的MO源进气管，最终通过终级MO源钢瓶输出具有优异MO源供给饱和度和均匀度效果的终极MO源气体，通过MO源封装空间更小的终级MO源钢瓶在过程中作为MO源气体的调节瓶和MO源输出端，可以有效避免初级MO源钢瓶内由于MO源蒸汽压不足而导致余量无法使用的问题，两者进行气流联动效应，整体实现了更高的MO源供给效率，而且本实用新型不需要设置多个MO源充装口，结构简单且安装紧凑，非常适合在小体积容量的MO源钢瓶供给端应用。
本实用新型在如上的高效且安装结构紧凑的MO源供给装置基础上，具体优选地提出了MO源四联钢瓶产品，进一步在初级MO源钢瓶与终级MO源钢瓶之间进一步设置两个中间MO源钢瓶，通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度；本实用新型还进一步提出将MO源四联钢瓶设置为矩型或正方型形状，进一步利于结构紧凑和安装便利度。
附图说明
附图1是本实用新型实施例1中MO源供给装置的结构示意图；
附图2是图1的俯视图；
附图3是本实用新型实施例2中MO源四联钢瓶的俯视图；
附图4是将图2展开后的MO源四联钢瓶结构示意图。
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，至少包括气体连通且呈并行排列的初级MO源钢瓶和终级MO源钢瓶；初级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的初级钢瓶本体，初级钢瓶本体上端分别设有惰性气体进气管和MO源充装口，同时其底部设有初级MO源出气管，惰性气体进气管、MO源充装口和初级MO源出气管分别与MO源封装空间连通，且MO源充装口中心线和初级MO源出气管中心线均与初级钢瓶本体中心线重合；终级MO源钢瓶包括具有MO源封装空间的终级钢瓶本体，终级钢瓶本体底部设有MO源进气管，同时其上端分别设有终极MO源出气管和MO源充装口，MO源进气管、终极MO源出气管和MO源充装口分别与MO源封装空间连通，且MO源进气管中心线和MO源充装口中心线均与终级钢瓶本体中心线重合；其中，终级钢瓶本体的MO源封装空间小于初级钢瓶本体的MO源封装空间，且初级MO源出气管通过与其垂直的连接管道与MO源进气管连接。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
实施例1：请参见图1和图2所示，一种高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，包括气体连通且呈并行排列的初级MO源钢瓶10和终级MO源钢瓶20；
在本实施方式中，初级MO源钢瓶10包括具有MO源封装空间11的初级钢瓶本体12，初级钢瓶本体12上端分别设有惰性气体进气管13和MO源充装口14，同时其底部设有初级MO源出气管15，惰性气体进气管13、MO源充装口14和初级MO源出气管15分别与MO源封装空间11连通，且MO源充装口14中心线和初级MO源出气管15中心线均与初级钢瓶本体12中心线重合；终级MO源钢瓶20包括具有MO源封装空间21的终级钢瓶本体22，终级钢瓶本体22底部设有MO源进气管23，同时其上端分别设有终极MO源出气管24和MO源充装口25，MO源进气管23、终极MO源出气管24和MO源充装口25分别与MO源封装空间21连通，且MO源进气管23中心线和MO源充装口25中心线均与终级钢瓶本体22中心线重合；
其中，在本实施方式中，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21小于初级钢瓶本体12的MO源封装空间11，且初级MO源出气管15通过与其垂直的连接管道30与MO源进气管23连接；
优选地，在本实施方式中，惰性气体进气管13和终极MO源出气管24上分别安装有惰性气体控制开关阀41和MO源控制开关阀42，在本申请的其他实施方式中，连接管道30上安装有用于控制供给压力的管道开关控制阀，通过惰性气体控制开关阀41、管道开关控制阀42和MO源控制开关阀的联动作用，可以更好地灵活调节MO气体的供给流量；
优选地，在本实施方式中，初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积为200-500mL，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积为150-400mL；初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积与终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积之前的差值不小于50mL；具体地，在本实施方式中，初级钢瓶本体12的MO源封装空间11的体积为400mL，终级钢瓶本体22的MO源封装空间21的体积为200mL。
本实施例1创造性提出采用至少包括相互气体连通的初级MO源钢瓶10和终级MO源钢瓶20组成高效且安装结构紧凑的MO源供给装置，同时终级MO源钢瓶20的MO源封装空间21小于初级MO源钢瓶10的MO源封装空间11，在进行实际工作时，初级MO源钢瓶10和终级MO源钢瓶20中存储封装有固体MO源，初级MO源钢瓶10通过位于上端部的惰性气体进气管13注入具有气体压力，同时通过位于钢瓶底部的初级MO源出气管15输出MO源气体(混合有惰性气体)，通过垂直连接的连接管道30注入终级MO源钢瓶20的MO源进气管23，最终通过终级MO源钢瓶20输出具有优异MO源供给饱和度和均匀度效果的终极MO源气体，通过MO源封装空间21更小的终级MO源钢瓶20在过程中作为MO源气体的调节瓶和MO源输出端，可以有效避免初级MO源钢瓶10内由于MO源蒸汽压不足而导致余量无法使用的问题，两者进行气流联动效应，整体实现了更高的MO源供给效率，而且本实施例1不需要设置多个MO源充装口，结构简单且安装紧凑，非常适合在小体积容量的MO源钢瓶供给端应用。
实施例2：请参见图3和图4所示的一种MO源四联钢瓶，包括依次通气连通的第一MO源钢瓶100、第二MO源钢瓶200、第三MO源钢瓶300和第四MO源钢瓶400，第一MO源钢瓶100作为初级MO源钢瓶，第四MO源钢瓶400作为终级MO源钢瓶；第二MO源钢瓶200和第三MO源钢瓶300分别作为位于初级MO源钢瓶与第四MO源钢瓶400之间的第一中间MO源钢瓶和第二中间MO源钢瓶；
其中，在本实施方式中，第一MO源钢瓶100包括具有MO源封装空间110的第一钢瓶本体120，第一钢瓶本体120上端分别设有惰性气体进气管121和MO源充装口122，同时其底部设有初级MO源出气管123，惰性气体进气管121、MO源充装口122和初级MO源出气管123分别与MO源封装空间110连通，且MO源充装口122中心线和初级MO源出气管123中心线均与第一钢瓶本体120中心线重合；第二MO源钢瓶200包括具有MO源封装空间210的第二钢瓶本体220，第二钢瓶本体220底部和上端分别设有与MO源封装空间210连通的初级MO源进气管221和二级MO源出气管222，初级MO源出气管123通过连接管道500接入初级MO源进气管221，二级MO源出气管222同时作为第二MO源钢瓶200的MO源充装口；第三MO源钢瓶300包括具有MO源封装空间310的第三钢瓶本体320，第三钢瓶本体320上端和底部分别设有与MO源封装空间310连通的二级MO源进气管321和三级MO源出气管322，二级MO源出气管222通过连接管道500接入二级MO源进气管321，二级MO源进气管321同时作为第三MO源钢瓶300的MO源充装口；第四MO源钢瓶400包括具有MO源封装空间410的第四钢瓶本体420，第四钢瓶本体420底部设有三级MO源进气管421，同时其上端分别设有终级MO源出气管422和MO源充装口423，三级MO源出气管322通过连接管道500接入三级MO源进气管421，且三级MO源进气管322中心线和MO源充装口中心线均与第四钢瓶本体400中心线重合；惰性气体进气管121和终极MO源出气管422上分别安装有惰性气体控制开关阀121a和终极MO源控制开关阀422a；
优选地，为了便于MO源四联钢瓶的安装结构紧凑性，减少安装空间，在本实施方式中，第一钢瓶本体120、第二钢瓶本体220、第三钢瓶本体320和第四钢瓶本体420通过连接管道500的连接排列形成矩型或正方型形状；
优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体120的MO源封装空间110大于第二钢瓶本体220的MO源封装空间210；第三钢瓶本体320的MO源封装空间310大于第四钢瓶本体400的MO源封装空间410；第二钢瓶本体200的MO源封装空间210等于第三钢瓶本体300的MO源封装空间310；进一步优选地，第一钢瓶本体120的MO源封装空间110的体积为300-600mL,第二钢瓶本体220的MO源封装空间210的体积为200-500mL，第三钢瓶本体320的MO源封装空间310的体积为200-500mL，第四钢瓶本体420的MO源封装空间410的体积为150-400mL；具体优选地，在本实施方式中，第一钢瓶本体120的MO源封装空间110的体积为400mL,第二钢瓶本体220的MO源封装空间210的体积为350mL，第三钢瓶本体320的MO源封装空间310的体积为350mL，第四钢瓶本体420的MO源封装空间410的体积为200mL。
本实施例2进一步在实施例1提出的初级MO源钢瓶与终级MO源钢瓶之间进一步设置两个中间MO源钢瓶，通过初级MO源钢瓶输出的MO源气体通过中间MO源钢瓶的联动气流作用，可以提高MO源气体的均匀性，同时中间MO源钢瓶同样具有MO源充装空间，可以确保MO源气体的饱和度；本实施例2还进一步提出将MO源四联钢瓶设置为矩型或正方型形状，进一步利于结构紧凑和安装便利度。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
