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热屏升降装置

2021-02-02 01:57:10

热屏升降装置

  技术领域

  本实用新型涉及单晶硅生产设备,尤其涉及一种热屏升降装置。

  背景技术

  单晶硅的拉制,需要尽可能的多装料,使坩埚装料最大化,当堆高的硅料接触到上方的热屏,会造成材料的污染,当坩埚旋转时还会使硅料滑落,造成事故,因此,需要把热屏提升到最高处,当硅料熔化后,再把热屏下降至保温法兰上。现有的热屏升降装置采用硬轴升降热屏,热屏下降时可能存在水平面有高低偏差,硬轴升降很容易压坏保温法兰,保温材料碎裂掉入硅溶液里面,会造成材料污染和碳含量超标。因此,有必要对这种热屏升降装置进行结构优化,以克服上述缺陷。

  实用新型内容

  本实用新型的目的是提供一种热屏升降装置,避免热屏下降时对保温法兰造成损伤。

  本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是,

  热屏升降装置,包括升降杆,具体地:

  升降杆从炉盖上的通孔中穿过,其底端位于炉盖内侧,并通过热屏法兰与热屏固定连接,其顶端位于炉盖外侧,并与牵引绳索相连,由牵引绳索拉动升降杆与热屏上升或下降。

  牵引绳索绕于滑轮上,其头端与升降杆固定连接,其尾端与卷绕轮相接,由卷绕轮对牵引绳索进行卷放操作。

  滑轮位于支架上,支架与升降杆相互平行,其底端固定于炉盖上,滑轮通过转轴安装于支架顶端,卷绕轮位于滑轮下方,通过支座安装于炉盖上。

  升降杆外侧设有密封波纹管,升降杆顶端固定有端板,密封波纹管顶端与端板相接,其底端连接于炉盖的通孔处,密封波纹管可随升降杆的升降而伸缩,牵引绳索头端固定于端板上。

  本实用新型的优点在于,该热屏升降装置采用牵引绳索带动热屏升降,当热屏下降到保温法兰着力后,停止下降,对保温材料不会形成挤压,卷绕轮拉动牵引绳索,控制热屏上下移动,可非常直观的看到牵引绳索负重时为拉紧状态,一旦热屏着落,牵引绳索失去牵引力,恢复为松软状态,非常有利于获取限位控制。

  附图说明

  图1是本实用新型提出的热屏升降装置的结构示意图。

  具体实施方式

  为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合图示与具体实施例,进一步阐述本实用新型。

  如图1所示,本实用新型提出的热屏升降装置包括升降杆1,升降杆从炉盖2上的通孔中穿过,其底端位于炉盖内侧,并通过热屏法兰3与热屏4固定连接,其顶端位于炉盖外侧,并与牵引绳索5 相连,由牵引绳索拉动升降杆与热屏上升或下降。牵引绳索绕于滑轮6上,其头端与升降杆固定连接,其尾端与卷绕轮7相接,由卷绕轮对牵引绳索进行卷放操作。滑轮位于支架8上,支架与升降杆相互平行,其底端固定于炉盖上,滑轮通过转轴安装于支架顶端,卷绕轮位于滑轮下方,通过支座安装于炉盖上。升降杆外侧设有密封波纹管9,升降杆顶端固定有端板10,密封波纹管顶端与端板相接,其底端连接于炉盖的通孔处,密封波纹管可随升降杆的升降而伸缩,牵引绳索头端固定于端板上。其中未详述的部件连接均为连接件连接、焊接、一体成型等现有连接形式。该热屏升降装置采用牵引绳索带动热屏升降,当热屏下降到保温法兰着力后,停止下降,对保温材料不会形成挤压,卷绕轮拉动牵引绳素,控制热屏上下移动,可非常直观的看到牵引绳索负重时为拉紧状态,一旦热屏着落,牵引绳索失去牵引力,恢复为松软状态,非常有利于获取限位控制。

  以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让本领域的技术人员了解本实用新型的内容并加以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围,凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

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