一种生长带状硅芯的导模板
技术领域
本实用新型涉及一种生长带状硅芯的导模板,用于多晶硅生产拉制带状硅芯。
背景技术
相比于传统的多晶还原炉硅芯,带状硅芯在直径和截面积相同的情况下,使用的硅原料相对较少,降低了硅芯的原料使用量和成本。由于直径和截面积加大,带状硅芯的外表面积也加大,有利于增加成绩速率和降低能耗。
在多晶硅的生产中,硅是半导体,具有温度越高电阻越低的负阻效应,用区熔法拉制的硅芯作为热载体在还原炉内进行CVD生长多晶硅,生产的多晶硅质量明显提高。随着线切割技术的日趋成熟,线切方硅芯应运而生,用多晶硅棒进行线切割加工,一次可以切除一百多根方硅芯,生产效率大幅提升。目前多晶硅生产采用的热载体全部用圆硅芯和方硅芯。
作为多晶硅生产过程中的沉积载体,表面积对沉积速率和能耗起至关重要的作用,不管是圆硅芯还是方硅芯,直径或截面积越大,沉积速度就越快,高压击穿时间就越短,生产的能耗相对也会降低,但基于成本考虑,圆硅芯或方硅芯的截面积增大,原料相应增加,成本就会增加。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供了一种生长带状硅芯的导模板,在生长过程中直接实现圆带状、方带状或多边形带状的薄壁硅带。
本实用新型的目的是这样实现的:
一种生长带状硅芯的导模板,包括导模板本体,所述导模板本体上表面设有V型凹槽,所述导模板本体底部设有与V型凹槽贯通的细孔。
优选的,所述细孔的直径为0.1-5mm。
优选的,所述V型凹槽的V型开口为25-90°。
优选的,所述V型凹槽的深度为0.1-5mm。
优选的,所述导模板本体上表面还设置有连接机构,所述连接机构连接升降传动装置。
优选的,所述导模板本体的材质为碳化硅镀层石墨或氮化硅。
优选的,所述V型凹槽至少一个,均布在导模板本体的上表面。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型通过导模板上表面的V型凹槽与导模板底部贯穿通道均布的细孔,通过毛细作用使得熔化的硅熔体进入细孔向上运动,达到导模板上表面的V型凹槽,通过设置合理的细孔直径和V型凹槽角度,使得熔化硅熔体稳定漫出凹槽,然后通过籽晶熔接后提升进而拉出带状硅芯,实现带状硅芯的控制,带状硅芯生长稳定且生产效率高,原料和成本大大减少。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的使用效果图。
其中:导模板本体1;V型凹槽2;细孔3;硅熔体4;带状硅芯5。
具体实施方式
参见图1-图2,本实用新型涉及一种生长带状硅芯的导模板,一种生长带状硅芯的导模板,包括导模板本体1,所述导模板本体1上表面设有V型凹槽2,所述导模板本体1底部设有与V型凹槽2贯通的细孔3。
所述细孔3的直径为0.1-5mm。使得硅熔体4能稳定通过细孔3,确保毛细作用的实现。
所述V型凹槽2的V型开口为25-90°。使得硅熔体4进入V型凹槽2后,在毛细作用和表面张力作用下,形成稳定的熔体体积。
所述V型凹槽2的深度为0.1-5mm。
所述导模板本体1上表面还设置有连接机构,所述连接机构连接升降传动装置。使导模板本体1在需要的范围内升降。
所述导模板本体1的材质为碳化硅镀层石墨或氮化硅,确保导模板本体1不与硅浸润,使硅熔体4依次经细孔、V型槽后形成球状熔融液带,促进带状硅芯5的稳定生长。
所述V型凹槽2至少一个,均布在导模板本体1的上表面。
工作原理:
通过毛细作用使得熔化的硅熔体4进入细孔3向上运动,到达V型凹槽2,通过设置合理的细孔3直径和V型凹槽2角度,使得熔化硅熔体4稳定漫出V型凹槽2,然后通过籽晶熔接后提升进而拉出带状硅芯5,实现带状硅芯5的控制。
除上述实施例外,本实用新型还包括有其他实施方式,凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案,均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。