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一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置

2021-04-08 15:24:33

一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置

  技术领域

  本实用新型涉及太阳能级单晶硅拉棒技术领域,具体为一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置。

  背景技术

  单晶硅,又称硅单晶,是一种半导体材料。单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生长无错位单晶硅的设备。单晶炉主要包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、液压驱动装置、真空系统、冲氩气系统及水冷系统。其中主炉室上部与翻板阀密封连接,副炉室放在翻板阀上,主炉室是单晶炉的心脏部位,且热场系统安装在主炉室内。

  现有的热场结构在化料时石英坩埚有部分位置未受热,因此原料融化速度会变慢,相对下拉棒的准备时间变长,为此,我们提出一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置。

  实用新型内容

  本实用新型的目的在于提供一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,以解决上述背景技术中提出的现有的原料融化时间偏长问题。

  为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,包括主加热器、化料加热器、底部加热器、承载炉、化料加热器脚架、底座、保温装置、主加热器脚架、脚座和六个电极孔,其特征在于:所述保温装置底部链接承载炉,所述承载炉外上段包设有主加热器,所述承载炉的外侧下段包设有化料加热器,且主加热器、化料加热器通过主加热器脚架、化料加热器脚架固定链接与底座,所述承载炉的底部设置有底部加热器,所述主加热器脚架的底部链接有脚座,所述底座的底部设有六个电极孔。

  优选的,所述化料加热器在结构上和主加热器类似,且放置位置为主加热器的下方,而且化料加热器和主加热器保持一定安全距离。

  优选的,所述主加热器脚架和脚座,且主加热器采用拼接方式,而且脚座内螺旋设置。

  优选的,所述主加热器、化料加热器、底部加热器电极单独连接。

  与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

  1、该密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,化料加热器在结构上和主加热器类似,放置位置为主加热器以下,和主加热器保持一定安全距离,且电极单独连接,采用通过增加坩埚受热面积来加快原料的融化速度,加入了一个新的化料加热器,在化料时将其开启,可最大化缩短化料工时,而拉晶状态时化料加热器保持关闭,对产品品质影响不大,同时增加炉底的保温性,减少炉内温度散失量,最大化利用加热器的热量,三个加热器均为单独连接,主加热器采用拼接方式,将两条主加热器腿之间距离增大以满足化料加热器的连接空间,防止打火事件。

  附图说明

  图1为本实用新型保温融化装置主结构示意图;

  图2为本实用新型保温融化装置局部结构示意图;

  图3为本实用新型保温融化装置主底部结构示意图。

  图中:1、主加热器;2、化料加热器;3、底部加热器;4、承载炉;5、化料加热器脚架;6、底座;7、保温装置;8、主加热器脚架;9、脚座;10 六个电极孔。

  具体实施方式

  下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

  请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:一种密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置,包括主加热器1、化料加热器2、底部加热器3、承载炉4、化料加热器脚架5、底座6、保温装置7、主加热器脚架8、脚座9 和六个电极孔10,保温装置7底部链接承载炉4,承载炉4外上段包设有主加热器1,承载炉4的外侧下段包设有化料加热器2,且主加热器1、化料加热器2通过主加热器脚架8、化料加热器脚架5固定链接与底座6,化料加热器在结构上和主加热器类似,且放置位置为主加热器的下方,主加热器脚架和脚座,且主加热器采用拼接方式,而且脚座内螺旋设置,化料加热器和主加热器保持一定安全距离,通过六个电极孔10分别单独连接,六个电极孔10边上安装有相对应的3个开关,通过开关分别控制主加热器1、化料加热器2、底部加热器3的启动,采用通过增加坩埚受热面积来加快原料的融化速度,承载炉4的底部设置有底部加热器3,增加炉底的保温性,减少炉内温度散失量,最大化利用加热器的热量,主加热器脚架8的底部链接有脚座9,将两条主加热器腿之间距离增大以满足化料加热器的连接空间,防止打火事件,底座6的底部设有六个电极孔10在化料时三个加热器同时开启,继而实现该化料装置的快速化料目的。

  工作原理:对于这类的保温融化装置,首先保温装置7底部链接承载炉4,承载炉4内可加热及保温单晶硅,打开控制通过主加热器1、化料加热器2、底部加热3对承载炉4进行加热,主加热器采用拼接方式,调节脚架9将两条主加热器腿之间距离增大以满足化料加热器的连接空间,防止打火事件,底座6的底部设有六个电极孔10,分别单控三个加热器,同开或单开。同时开启时可最大化缩短化料工时,就这样完成整个密封保温性能较好的单晶硅拉棒原料融化装置的使用过程。

  尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

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