一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统
技术领域
本实用新型属于硫酸生产过滤设备相关技术领域，具体涉及一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统。
背景技术
微电子级硫酸是微电子行业的常用原料之一，其生产工艺包括制备二氧化硫、再将二氧化硫氧化为三氧化硫、三氧化硫在烟酸塔内用发烟浓硫酸对三氧化硫进行吸收、形成高浓度烟酸，然后烟酸进入三氧化硫蒸发器，然后对蒸发的三氧化硫进行提纯，三氧化硫进入吸收塔，吸收后加入超纯水制备浓硫酸，然后经过一系列工艺进行提纯。
现有的微电子级硫酸生产系统通常包括过滤系统，用于减少微电子级硫酸产品中的微量灰份和微量金属离子。对于现有的采用微电子级硫酸生产工艺来说，如果要更好的提高产品质量，还需要经过原料过滤、成品过滤等其它技术手段，否则会直接影响到了精制硫酸的质量。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型提供一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统，该过滤系统操作简单且能提高产品质量。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统，包括依次连接在硫酸生产管路上的圆桶状硫酸过滤器和圆桶状SO 3气体过滤器，所述硫酸过滤器顶部设有压力表和排气口，其侧边筒壁设有一个进料管口，其内部在所述进料管口下方安装有均流器，所述均流器下方安装有过滤装置甲，所述硫酸过滤器的最底部设有出料管口；
所述SO 3气体过滤器顶部设有SO 3气体出口，其内部靠近顶部位置设有过滤装置乙，所述过滤装置乙下方安装有气体均布器，所述SO 3气体过滤器侧壁上并靠近其底部位置设有SO 3气体进口，所述SO 3气体过滤器侧壁上包裹了一层加热套，所述加热套内壁由上至下沿周螺旋间隔固定有光滑的凸块，所述加热套侧壁靠上方位置设有加热源出口，所述加热套侧壁靠下方位置设有加热源进口，所述SO 3气体过滤器的最底部设有一个排液口。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.对硫酸过滤器安装过滤装置甲可以减少酸中微量灰份，同时在过滤装置甲上方安装均流器，均流器能够使得硫酸均匀的流在过滤装置甲上，提高了过滤的效果；
2.对主要原料气SO 3在一级过滤的基础上增加第二级的SO 3气体过滤器，通过SO3气体过滤器内安装的过滤装置乙可以减少酸中微量金属离子，而在过滤装置乙下方安装有气体均布器，气体均布器能够使得SO 3气体均匀的上升至过滤装置乙上，提高了过滤的效果；
3.加热套内壁由上至下沿周螺旋间隔固定有光滑的凸块，凸块能够使得加热套与SO 3气体过滤器外壁之间的空间变小，在同等流量的状态下进而提高了加热源的流速，从而提高了传热的效率。
附图说明
图1是本实用新型过滤系统中硫酸过滤器的结构示意图；
图2为本实用新型过滤系统中SO 3气体过滤器的结构示意图。
附图中：1.硫酸过滤器；11.排气口；12.进料管口；13.均流器；14.过滤装置甲；15.出料管口；2.SO 3气体过滤器；21.SO 3气体出口；22.过滤装置乙；23.气体均布器；24.SO 3气体进口；25.排液口；3.加热套；31.凸块；32.加热源出口；33.加热源进口。
具体实施方式
如说明书附图中图1至图2所示的一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统，包括依次连接在硫酸生产管路上的圆桶状硫酸过滤器1和圆桶状SO3 气体过滤器2，两者分别可以过滤硫酸和SO 3气体，从而减少硫酸中的微量灰份和微量金属离子，硫酸过滤器1顶部设有压力表和排气口11，其侧边筒壁设有一个进料管口12，其内部在进料管口12下方安装有均流器13，均流器13下方安装有过滤装置甲14，硫酸过滤器1的最底部设有出料管口15。
硫酸从进料管口12进入硫酸过滤器1，经过均流器13后均匀的分布在过滤装置甲14上，经过过滤装置甲14过滤后从出料管口15流出，顶部的压力表和排气口11可以观察装置内部压力和排出气体。
SO 3气体过滤器2顶部设有SO 3气体出口21，其内部靠近顶部位置设有过滤装置乙22，过滤装置乙22下方安装有气体均布器23，SO 3气体过滤器2侧壁上并靠近其底部位置设有SO 3气体进口24，SO 3气体过滤器2侧壁上包裹了一层加热套3，加热套3内壁由上至下沿周螺旋间隔固定有光滑的凸块31，加热套侧壁靠上方位置设有加热源出口32，加热套侧壁靠下方位置设有加热源进口33，SO 3气体过滤器2的最底部设有一个排液口25。
SO 3气体从SO 3气体进口24进入SO 3气体过滤器2内，上升经过气体均布器23后，SO 3气体均匀的上升进入过滤装置乙22中，经过过滤装置乙22后从顶部设有SO 3气体出口21排出，排液口25能排出过程中产生的液体。
SO 3气体过滤器2侧壁包裹了的一层加热套3，加热源从加热源进口33进入，从加热源出口32排出，使得整个SO 3气体过滤器内部被加热达到一定温度，加热套3内壁由上至下沿周螺旋间隔固定有光滑的凸块31，凸块31能够使得加热套3与SO 3气体过滤器2外壁之间的空间变小，在同等流量的状态下进而提高了加热源的流速，从而提高了传热的效率。
上述设备均定制加工，通过在硫酸生产管路上增加过滤设备，提高了产品的质量，而且操作简单。
综上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施的范围，凡依本实用新型权利要求范围所述的形状、构造、特征及精神所为的均等变化与修饰，均应包括于本实用新型的权利要求范围内。
