一种自清洗高浓度臭氧发生器
技术领域
本发明属于臭氧发生器技术领域，具体涉及一种自清洗高浓度臭氧发生器。
背景技术
臭氧发生器和模块化输送系统，可产生超纯、可靠的臭氧气体。在清洁的半导体环境中，臭氧与各种前体气体反应生成Al2O3、ZrO2、HfO2和La2O3金属氧化物，从而实现原子层沉积(ALD)和蚀刻(ALE)等薄膜沉积工艺，臭氧发生器使用6级气体，能够产生更高的薄膜密度，从而提高产品产量。光伏和显示器制造利用半导体最佳实践，并利用臭氧创建增强的薄膜屏障，从而提高产品性能和可靠性，。
现有的臭氧发生器，由于外部安装有导管，需要安装有固定架扶持导管，防止导管在安装压力阀等原件后由于重力的原因发生变形的问题，但是由于臭氧发生器规格不一样，固定导管的固定环与固定架是固定连接，不能通用，需要另外更换，造成了成本增加的问题，为此我们提出一种自清洗高浓度臭氧发生器。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自清洗高浓度臭氧发生器，以解决上述背景技术中提出现有的臭氧发生器，由于外部安装有导管，需要安装有固定架扶持导管，防止导管在安装压力阀等原件后由于重力的原因发生变形的问题，但是由于臭氧发生器规格不一样，固定导管的固定环与固定架是固定连接，不能通用，需要另外更换，造成了成本增加的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自清洗高浓度臭氧发生器，包括高浓度臭氧发生器主体与滑动机构，所述高浓度臭氧发生器主体前表面设置有限位固定架，所述限位固定架前表面设置有导管；所述滑动机构包括第二固定环，所述第二固定环处于限位固定架外侧表面，所述第二固定环的数量共设置有两个，两个所述第二固定环一端均开设有缺口，所述缺口两端均固定连接有螺纹杆，两个所述螺纹杆外侧套接有第一锁紧螺栓，所述两个螺纹杆均设置为半锥形，两个所述螺纹杆组合成锥形，两个所述第二固定环另一端均固定连接有第一固定环，两个所述第一固定环均为半圆环形结构，所述导管一端处于两个所述第一固定环内侧，两个所述第一固定环内侧均固定连接有第一防护橡胶垫。
优选的，还包括抵紧机构，所述抵紧机构包括第二锁紧螺栓，所述第二锁紧螺栓的数量共设置有两个，两个所述第二锁紧螺栓分别处于两个所述第一固定环外侧，两个所述第二锁紧螺栓一端分别贯穿两个所述第一固定环内壁处于两个所述第一固定环内侧，两个所述第二锁紧螺栓处于两个所述第一固定环内侧的一端表面均固定连接有第二防护橡胶垫。
优选的，还包括限位机构，所述高浓度臭氧发生器主体底端固定连接有固定底座，所述限位机构包括限位块，所述限位块固定安装于固定底座一侧表面，所述固定底座顶端表面开设有定位安装槽，所述限位固定架底端处于定位安装槽内侧，所述定位安装槽内侧开设有第一限位槽，所述第一限位槽内侧固定连接有转轴，所述转轴外侧套接有转轴套，所述转轴套外侧固定连接有限位卡板，且所述限位卡板一端处于限位固定架内壁，所述转轴套与转轴的连接处设置有扭力簧。
优选的，所述第一锁紧螺栓通过螺纹与两个螺纹杆为转动连接。
优选的，所述两个第二固定环内侧均开设有防滑纹，两个所述第二固定环的截面为圆环形。
优选的，两个所述第二锁紧螺栓处于两个所述第一固定环内壁的外侧均开设有螺纹槽，两个所述第二锁紧螺栓通过螺纹与两个所述螺纹槽均为转动连接。
优选的，两个所述第二防护橡胶垫均贴合导管外侧表面，所述导管处于两个所述第二防护橡胶垫中部。
优选的，所述转轴套外侧前表面固定连接有拨杆，所述拨杆一端贯穿第一限位槽内侧，且所述拨杆一端处于限位块外侧。
优选的，所述限位卡板处于限位固定架内壁的外侧开设有限位卡槽，所述限位卡板卡合限位卡槽内侧。
优选的，所述限位机构的数量共设置有两个，两个所述限位机构分别处于限位固定架底端两侧。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)通过设计了滑动机构，可以调整两个第二固定环的高度，方便能够在不同规格的装置上使用，提高本装置的通用性，不需要额外去定制，减少成本。
(2)通过设计了抵紧机构，两个第一固定环两端都安装有第二锁紧螺栓，可以防止导管在第一固定环内侧晃动，通过第二锁紧螺栓抵在导管一端的表面加装了第二防护橡胶垫，防止第二锁紧螺栓损坏导管。
(3)通过设计了限位机构，可以将限位固定架固定在不同规格的装置上，采用卡扣式连接，安装拆卸方便，节省安装时间，提高效率。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的固定环侧面结构示意图；
图3为本发明的限位环俯视结构示意图；
图4为本发明图2中B处的放大结构示意图；
图5为本发明图1中A处的放大结构示意图；
图中：1、高浓度臭氧发生器主体；2、限位固定架；3、导管；4、第一固定环；5、固定底座；6、第一防护橡胶垫；7、第二固定环；8、螺纹杆；9、第一锁紧螺栓；10、第二锁紧螺栓；11、螺纹槽；12、第二防护橡胶垫；13、限位块；14、定位安装槽；15、第一限位槽；16、转轴套；17、转轴；18、拨杆；19、限位卡板；20、限位卡槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图5，本发明提供以下技术方案：一种自清洗高浓度臭氧发生器，包括高浓度臭氧发生器主体1与滑动机构，高浓度臭氧发生器主体1前表面设置有限位固定架2，限位固定架2前表面设置有导管3；滑动机构包括第二固定环7，第二固定环7处于限位固定架2外侧表面，第二固定环7的数量共设置有两个，两个第二固定环7一端均开设有缺口，缺口两端均固定连接有螺纹杆8，两个螺纹杆8外侧套接有第一锁紧螺栓9，两个螺纹杆8均设置为半锥形，两个螺纹杆8组合成锥形，两个第二固定环7另一端均固定连接有第一固定环4，两个第一固定环4均为半圆环形结构，导管3一端处于两个第一固定环4内侧，两个第一固定环4内侧均固定连接有第一防护橡胶垫6。
为了便于两个第一固定环4两端都安装有第二锁紧螺栓10，可以防止导管3在第一固定环4内侧晃动，通过第二锁紧螺栓10抵在导管3一端的表面加装了第二防护橡胶垫12，防止第二锁紧螺栓10损坏导管3，本实施例中，优选的，还包括抵紧机构，抵紧机构包括第二锁紧螺栓10，第二锁紧螺栓10的数量共设置有两个，两个第二锁紧螺栓10分别处于两个第一固定环4外侧，两个第二锁紧螺栓10一端分别贯穿两个第一固定环4内壁处于两个第一固定环4内侧，两个第二锁紧螺栓10处于两个第一固定环4内侧的一端表面均固定连接有第二防护橡胶垫12。
为了便于可以将限位固定架2固定在不同规格的装置上，采用卡扣式连接，安装拆卸方便，节省安装时间，提高效率，本实施例中，优选的，还包括限位机构，高浓度臭氧发生器主体1底端固定连接有固定底座5，限位机构包括限位块13，限位块13固定安装于固定底座5一侧表面，固定底座5顶端表面开设有定位安装槽14，限位固定架2底端处于定位安装槽14内侧，定位安装槽14内侧开设有第一限位槽15，第一限位槽15内侧固定连接有转轴17，转轴17外侧套接有转轴套16，转轴套16外侧固定连接有限位卡板19，且限位卡板19一端处于限位固定架2内壁，转轴套16与转轴17的连接处设置有扭力簧。
为了便于两个螺纹杆8外侧可以安装第一锁紧螺栓9，本实施例中，优选的，第一锁紧螺栓9通过螺纹与两个螺纹8杆为转动连接。
为了便于第二固定环7套在限位固定架2外侧可以滑动，第二固定环7夹紧后可以固定，本实施例中，优选的，两个第二固定环7内侧均开设有防滑纹，两个第二固定环7的截面为圆环形。
为了便于两个第二锁紧螺栓10可以转动，本实施例中，优选的，两个第二锁紧螺栓10处于两个第一固定环4内壁的外侧均开设有螺纹槽11，两个第二锁紧螺栓10通过螺纹与两个螺纹槽11均为转动连接。
为了便于两个第二防护橡胶垫12将导管3抵紧，本实施例中，优选的，两个第二防护橡胶垫12均贴合导管3外侧表面，导管3处于两个第二防护橡胶垫12中部。
为了便于安装拨杆18，拨动拨杆18带动转轴套16转动，本实施例中，优选的，转轴套16外侧前表面固定连接有拨杆18，拨杆18一端贯穿第一限位槽15内侧处于限位块13外侧。
为了便于将限位固定架2固定，本实施例中，优选的，限位卡板19处于限位固定架2内壁的外侧开设有限位卡槽20，限位卡板19卡合限位卡槽20内侧。
为了便于，本实施例中，优选的，限位机构的数量共设置有两个，两个限位机构分别处于限位固定架2底端两侧。
本发明的工作原理及使用流程：该装置完成后，在需要安装限位固定架2时，首先向一侧拨动拨杆18，拨杆18带动转轴套16围绕转轴17外侧旋转，扭力簧受力收紧，转轴套16转动带动限位卡板19移动，限位卡板19一端离开定位安装槽14内侧，然后将限位固定架2底端放入定位安装槽14内侧，此时限位卡槽20处于第一限位槽15一侧，然后松开拨杆18，扭力簧不受力带动转轴套16反向旋转，限位卡板19一端卡入限位卡槽20内侧，将限位固定架2固定住，通过设计了限位机构，可以将限位固定架2固定在不同规格的装置上，采用卡扣式连接，安装拆卸方便，节省安装时间，提高效率。在需要固定导管3时，首先将两个第二固定环7套在限位固定架2外侧，然后将导管3处于两个第一固定环4中间，首先旋转底端的一个第一锁紧螺栓9，通过螺纹的作用，第一锁紧螺栓9沿着两个螺纹杆8移动，两个螺纹杆8由于锥面的作用，接触面积发生变化，同时向内内侧挤压，带动第二固定环7一端向内侧将限位固定架2夹紧，防止滑动，此时导管3底端处于第一固定环4内侧，然后将另一个第一固定环4覆盖在导管3顶端，继续旋转另一个螺纹杆8，将另一个第二固定环7的位置进行固定，导管3处于两个第一固定环4中部，通过设计了滑动机构，可以调整两个第二固定环7的高度，方便能够在不同规格的装置上使用，提高本装置的通用性，不需要额外去定制，减少成本。导管3在被固定后，然后将第二锁紧螺栓10一端放入螺纹槽11内侧旋转，通过螺纹的作用，第二锁紧螺栓10一端处于第一固定环4内侧，抵在导管3外侧表面，通过设计了抵紧机构，两个第一固定环4两端都安装有第二锁紧螺栓10，可以防止导管3在第一固定环4内侧晃动，通过第二锁紧螺栓10抵在导管3一端的表面加装了第二防护橡胶垫12，防止第二锁紧螺栓10损坏导管3。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
